[发明专利]物面像面位置的实时测校装置以及方法

权利要求书

1.一种物面像面位置的实时测校装置，其包括照明光源系统、投影物镜成像系统、用于支撑并固定掩模版的掩模台、用于支撑并固定晶片的工作台，其特征在于，所述物面像面位置的实时测校装置还包括用于监测物面位置的投影物镜成像系统顶部传感器，以及用于监测像面位置的投影物镜成像系统底部传感器。

2.根据权利要求1所述的物面像面位置的实时测校装置，其特征在于，所述顶部传感器透过实时监测所述掩模台垂向零平面相对于透镜顶部漂移，从而校正物面偏差。

3.根据权利要求1所述的物面像面位置的实时测校装置，其特征在于，所述底部传感器透过实时监测所述工件台垂向零平面相对于透镜底部漂移，从而校正像面偏差。

4.一种物面像面位置的实时测校方法，其特征在于：利用权利要求1所述的物面像面位置的实时测校装置，监测不同时刻投影物镜成像系统顶部传感器和底部传感器测量结果，通过与初始标定时刻物面像面位置相比较，计算得到不同时刻物面、像面漂移量，并对投影系统物面、像面位置进行实时校正。