[发明专利]一种基于相位恢复技术的大型光学镜面在位检测装置

权利要求书

1.一种基于相位恢复技术的大型光学镜面在位检测装置，包括激光源(1)、数码相机(2)、分光棱镜(3)、带支架(5)的平台(4)和计算机(10)，其特征在于；所述激光源(1)、数码相机(2)和分光棱镜(3)都安装在平台(4)上；所述分光棱镜(3)安装在激光源(1)的正前方，并与激光源(1)的光的射出方向呈45度夹角；所述数码相机(2)安装在激光源(1)的一侧，且与分光镜(3)按照光学成像原理布置；所述计算机(10)装载专用软件，通过电缆(11)与激光源(1)、数码相机(2)和平台(4)的支架(5)的运动机构电连接；所述平台(4)的正前方，在固定在机床(7)夹具上的被测非球面镜(8)的上方，安装反射镜支架(9)，反射镜支架(9)横梁上安装反射镜(6)，反射镜(6)与激光源(1)的射线呈45度夹角。

2.根据权利要求1所述的一种基于相位恢复技术的大型光学镜面在位检测装置，其特征在于：所述平台(4)安装在支架(5)顶部，支架(5)安装沿X、Y、Z轴平移和绕Y、Z轴转动的受计算机(10)控制的五自由度运动机构，运动机构与计算机(10)用电缆(11)电连接。

3.根据权利要求1所述的一种基于相位恢复技术的大型光学镜面在位检测装置，其特征在于：所述反射镜支架(9)为移动式门架结构。

4.根据权利要求1或3所述的一种基于相位恢复技术的大型光学镜面在位检测装置，其特征在于：所述反射镜(6)采用平面镜，呈45度夹角安装在反射镜支架(9)横梁上，反射镜(6)与反射镜支架(9)之间安装有夹角调整固定机构。

5.根据权利要求1所述的一种基于相位恢复技术的大型光学镜面在位检测装置，其特征在于：所述数码相机(2)的分辨率不低于100万象素。

6.根据权利要求1所述的一种基于相位恢复技术的大型光学镜面在位检测装置，其特征在于：所述激光源(1)的波长为400nm-760nm。