[发明专利]利用热导检测器实时检测混合气体组分含量的方法及装置

权利要求书

1.利用热导检测器实时检测混合气体组分含量的方法，其特征在于包括如下步骤：

(1)标准气配比确定：将气瓶之二中的含有待测气体中某组分的纯气体和气瓶之三中的待测气体中其余组分的气体分别经压力调节阀之二、压力调节阀之三引出，再分别用质量流量控制仪之三和质量流量控制仪之四控制其流量，得到的标准气配比混合气体；配比一系列已知待测气体浓度的混合气体；

(2)待测气体浓度与热导检测器电压的标度：参比气依次通过气瓶之一、压力调节阀之一和质量流量控制仪之一，调节控制参比气的流量保持稳定后接入热导检测器的参比气进口，由参比气出口排出；采样系统包括通过管道连接的采样探头和待测气质量流量控制仪之二；采样探头通过管道与热导检测器的待测气进口连接，质量流量控制仪之二与热导检测器的待测气出口连接；将采样探头插入配比好标准气的混合罐，使用质量流量控制仪之一控制参比气体流量，使用质量流量控制仪之二控制标准气流量，分别检测待测气体不同浓度时热导检测器输出的电压值；

(3)待测气体浓度的检测：将采样探头插入待检测试样内，使用质量流量控制仪之一控制参比气流量如步骤(2)标度时的流量，使用质量流量控制仪之二控制待测气流量为步骤(2)标度时的标准气流量，记录热导检测器输出的电压值，对照步骤(2)标度热导检测器输出的电压值与气体某组分在混合气体中的浓度关系，即可得到所要检测混合气体中某组分的浓度。

2.利用热导检测器实时检测混合气体组分含量的装置，其特征在于：包括参比气源及流量控制子统、采样系统、热导检测器及数据采集系统和标准气配比系统；

所述热导检测器及数据采集系统包括热导检测器和计算机数据采集系统，计算机数据采集系统与热导检测器的信号输出端连接；

所述参比气源及流量控制系统包括依次连接的气瓶之一、压力调节阀之一和质量流量控制仪之一，质量流量控制仪之一与热导检测器的参比气进口连接；所述采样系统包括通过管道连接的采样探头和待测气质量流量控制仪之二；采样探头通过管道与热导检测器的待测气进口连接，质量流量控制仪之二与热导检测器的待测气出口连接；

标准气配比系统包括含有待测组分气体A的气瓶之二、压力调节阀之二、质量流量控制仪之三、含有混合气体中其余组分B的气瓶之三，压力调节阀之三、质量流量控制仪之四、气体A与混合气体中其余组分B混合罐、针形调节阀；气瓶之二、压力调节阀之二和质量流量控制仪之三依次连接，并与混合罐连接；气瓶之三，压力调节阀之三和质量流量控制仪之四依次连接，并与混合罐连接；针形调节阀与混合罐连接；混合罐上设有采样口。

3.根据权利要求2所述的利用热导检测器实时检测混合气体组分含量的装置，其特征在于：当待测系统为常压时，所述质量流量控制仪之二后安装有真空泵。

4.根据权利要求2所述的利用热导检测器实时检测混合气体组分含量的装置，其特征在于：当待测系统含有颗粒杂质时，所述采样探头与和待测气质量流量控制仪之二连接的管路上设有过滤器。

5.根据权利要求2所述的利用热导检测器实时检测混合气体组分含量的装置，其特征在于：所述采样探头至热导检测器的管路采用内径小于2毫米的小管径管路。