[发明专利]洗濯系统

说明书

技术领域

本发明主要涉及一种节省水资源系统，尤其是指一种回收废水加以处理后应用于清洗玻璃基板的洗濯系统。

背景技术

液晶显示器具有重量轻、体积小、易携带、高可靠性、省电、全彩及无辐射等多种优点，目前许多电子产品如行动电话、汽车卫星导航(GPS)、数位相机、个人数位助理(PDA)以及笔记型电脑都使用液晶显示器。液晶显示器若依驱动显示技术可分为被动式(Passive Matrix)驱动与主动式(Active Matrix)驱动。由于主动式驱动是将电晶体元件直接做在玻璃面板上，因此玻璃基板的清洁度要求就特别重要，尤其是薄膜制程前的清洗最为重要，之后的薄膜溅镀、曝光、剥膜、蚀刻等制程都需多次、反复的清洗，以维持玻璃面板之清洁度。单是清洗制程约佔了全部TFT-LCD面板制程的30％左右，由此可知清洗制程的重要性。

习知技术在基板在进入薄膜制程前的进行一次清洗、在剥膜制程中，剥膜设备亦系使用净水清洗基板，在整个TFT-LCD面板制程裡，净水的损耗很大，往往在清洗基板后，这些水就直接排出，形成一种浪费。

发明内容

本发明之主要目的在于，提供一种洗濯系统，其系能节省水资源的浪费。

本发明之另一目的在于，提供一种洗濯系统，其系收集基板薄膜成形前洗净基板的水，利用回收设备来收集、处理进行二度利用。

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为：提供一洗濯系统，其系包括第一清洗设备、第一回收设备、厂务设备、第二清洗设备及第二回收设备；其中，该第一清洗设备，用来清洗第一基板，该第一清洗设备包含复数清洗段，该第一清洗设备中最后二清洗段的用水系由厂务端提供净水清洗；又，该第一回收设备，与该第一清洗设备连接，收集最后一清洗段清洗后之回收水，供给前一清洗段清洗第一基板，该第一清洗设备的第一清洗段使用过的水，则流入该厂务设备；再，该第二清洗设备，清洗第二基板，该第二清洗设备系包含复数清洗段，最后一清洗段的用水系由厂务端提供净水清洗；又，该第二回收设备，与第二清洗设备及厂务设备连接，收集第二清洗设备中最后一清洗段清洗后之回收水，并与厂务设备中的回收水混合后，供给前一清洗段清洗该第二基板。本发明收集基板薄膜成形前洗净第一基板的水加以重复利用，藉此节省水资源及成本。

本发明的有益效果在于，提供一种清濯系统，其包括第一清洗设备，该第一清洗设备中最后二清洗段的用水系由厂务端提供净水清洗；该第一回收设备，与该第一清洗设备连接，收集最后一清洗段清洗后之回收水，该第一清洗设备的第一清洗段使用过的水，则流入该厂务设备；最后一清洗段的用水系由厂务端提供净水清洗；该第二回收设备与该第二清洗设备及该厂务设备连接，收集该第二清洗设备中最后一清洗段清洗后之回收水，并与厂务设备中的回收水混合后，供给前一清洗段清洗该第二基板，以达到该收集基板薄膜成形前洗净第一基板的水加以重复利用，藉此节省水资源及成本的效果。

附图说明

图1为本发明之一实施例之结构示意图

图2为本发明之一实施例之结构示意图

图3为本发明之一实施例之结构示意图

图4为本发明之一实施例之结构示意图

图5为本发明之一实施例之结构示意图

具体实施方式

TFT-LCD的制程中有繁复的洗净工程，为节省水资源的浪费，降低生产成本，利用许多回收设备来处理使用过的水，再进行利用。

请参照图1、图2及图3，本发明之洗濯系统40包括一第一清洗设备42、一第一回收设备、一第二清洗设备44、一第二回收设备及一厂务设备。薄膜形成于第一基板46前需以第一清洗设备42(清洗机)洗净，此一步骤对于制造的良率构成极大的影响。

该第一清洗设备42系为一清洗机，其包括清洗段A、清洗段B、清洗段C、清洗段D及风刀段E；每一段系串联在一起，第一基板46清洗时，其路线系依序为清洗段A->清洗段B->清洗段C->清洗段D->风刀段E；风刀段E设有风刀102、风刀104用来刮乾第一基板上残留的水分；

具体地，该第一基板系为一玻璃板；