[发明专利]光学透射球面检测装置

权利要求书

1、一种光学透射球面检测装置，它是由数字波面干涉仪[1]、透射球面器具[2]、干涉图监视器[4]和计算机[5]组成，透射球面器具[2]位于数字波面干涉仪[1]的出射光路上，数字波面干涉仪[1]同时接收透射球面器具[2]获取的图像，经数字波面干涉仪[1]处理后的图像输出信号分别接干涉图监视器[4]和计算机[5]，本发明的特征在于透射球面器具[2]是由2～4片光学正透镜组合构成，组合后的球面标准器具[2]的焦点与透射球面标准器具[2]中末尾正透镜[7]球面的球心重合；经球面标准器具[2]后的球面波，正入射被检凸凹球面[3]。

2、根据权利要求1所述光学透射球面检测装置，其特征是构成上述透射球面器具[2]的光学正透镜由球面组成。

3、根据权利要求1所述光学透射球面检测装置，其特征是构成上述透射球面器具[2]的光学正透镜由非球面与球面组成。

4、根据权利要求1所述光学透射球面检测装置，其特征是构成上述透射球面器具[2]的光学正透镜由衍射光学面与球面组成。

5、根据权利要求1所述光学透射球面检测装置，其特征是构成上述透射球面器具[2]的光学正透镜由非球面、衍射光学面和球面组成。

6、根据权利要求1～5所述光学透射球面检测装置，其特征是构成上述透射球面器具[2]的首个光学正透镜[6]为双凸透镜或平凸透镜。

7、根据权利要求1～5所述光学透射球面检测装置，其特征是构成上述透射球面器具[2]的末尾正透镜[7]采用膨胀系数小的光学材料制作，球面镀制增透膜或未镀制增透膜。

8、根据权利要求6所述光学透射球面检测装置，其特征是构成上述透射球面器具[2]的末尾正透镜[7]采用膨胀系数小的光学材料制作，球面镀制增透膜或未镀制增透膜。