[发明专利]一种化学气相沉积制备飞机碳刹车盘的方法

权利要求书

1、一种化学气相沉积制备飞机碳刹车盘的方法，其特征在于包括下列步骤：

1)将飞机碳刹车盘预制体以料柱的形式装入化学气相沉积炉中，相邻的预制体之间采用石墨垫环隔开，在料柱顶端加盖中部设有通孔的石墨盖板，所述石墨盖板和料柱之间还设有石墨垫环，料柱的最下端也通过石墨垫环和石墨下盖板支撑在外热式化学气相沉积炉内；在化学气相沉积炉内的上盖板的中间位置开设进气孔；在上盖板进气孔和石墨盖板的通孔之间密封连接一石墨管；

2)对化学气相沉积炉内抽真空，并保真空24±1小时；

3)将化学气相沉积炉升温至沉积温度；

4)依次通入包括碳源气体、稀释气体、载气和保护调节气体。

2、根据权利要求1所述化学气相沉积制备飞机碳刹车盘的方法，其特征在于步骤1)中，各石墨垫环的厚度为5～10mm，每炉装入的飞机碳刹车盘预制体数为44～45盘。

3、根据权利要求1所述化学气相沉积制备飞机碳刹车盘的方法，其特征在于步骤2)中，化学气相沉积炉内的真空度为1Pa～50KPa。

4、根据权利要求1所述化学气相沉积制备飞机碳刹车盘的方法，其特征在于步骤3)中，升温至化学气相沉积炉内温度为800℃～1400℃。

5、根据权利要求1所述化学气相沉积制备飞机碳刹车盘的方法，其特征在于在步骤4)前，先从石墨管通入氮气，再通入沉积用的碳源气体，直到碳源气体通入量为30克/公斤预制体。

6、根据权利要求1所述化学气相沉积制备飞机碳刹车盘的方法，其特征在于上盖板进气孔和石墨盖板的通孔的孔径相等。

7、根据权利要求6所述化学气相沉积制备飞机碳刹车盘的方法，其特征在于所述上盖板进气孔和石墨盖板的通孔的孔径为50～200mm。