[发明专利]从硅片切割加工副产物中回收碳化硅的方法

权利要求书

1、一种从硅片切割加工副产物中回收碳化硅的方法，其特征在于：硅片切割加工副产物经混合均匀后，加入分离剂，用量为5～50％，混合温度为常温或在50～80℃；用传送机械送入机械分离器，机械分离器的操作温度为5～80℃；由机械分离器获得50～95％的富碳化硅浆料和5～50％的贫碳化硅悬浮液；富碳化硅浆料再进行多级机械分离，获得的高纯度碳化硅浆料再由机械分离去除切割液及分离剂，然后进行碱洗、酸洗和清洗，所得碳化硅湿料经烘干、分级后，得高纯度碳化硅产品。

2、根据权利要求1所述从硅片切割加工副产物回收碳化硅的方法，其特征在于：硅片切割加工副产物中包括太阳能级硅片切割加工副产物和电子级硅片切割加工副产物。

3、根据权利要求1所述从硅片切割加工副产物回收碳化硅的方法，其特征在于：回收的碳化硅用于硅片切割加工过程或作为碳化硅产品；所述贫碳化硅悬浮液用作后道工序由机械分离提取分离剂及切割液，回收多晶硅。

4、根据权利要求1所述从硅片切割加工副产物回收碳化硅的方法，其特征在于：在对富碳化硅浆料进行多级机械分离前，再次在富碳化硅浆料中加入分离剂。

5、根据权利要求1或4所述从硅片切割加工副产物回收碳化硅的方法，其特征在于，所述分离剂包括下述物质中的一种或多种的混合物：

a、乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、平均分子量200～10000Dalton的聚乙二醇；

b、非离子表面活性剂；

c、聚乙二醇单油酸酯、聚乙二醇双油酸酯、聚乙二醇单硬脂酸酯、聚乙二醇双硬脂酸酯中的一种或几种混合物；

d、聚氧乙烯仲烷基醇醚渗透剂；

e、黏度调节剂，该黏度调节剂的主要成分为含多羟基的聚丙烯酸酯。

6、根据权利要求1所述从硅片切割加工副产物回收碳化硅的方法，其特征在于：机械分离器包括沉降池、刮板沉降器、斜板沉降器、卧式离心机、立式离心机、管式离心机和旋流器中的一种或几种组合。

7、根据权利要求1所述从硅片切割加工副产物回收碳化硅的方法，其特征在于：碱洗所用的碱是液体或固体的金属氢氧化物，碱洗温度为常温或在50℃～120℃；酸洗所用的酸为无机酸或有机酸，或者有机酸与无机酸的混合物；所述酸是纯酸或酸溶液，温度为常温或在50℃～120℃；清洗时用洁净的清水，清洗温度为50～120℃，在清洗后再经机械分离得到碳化硅湿料。

8、根据权利要求1所述从硅片切割加工副产物回收碳化硅的方法，其特征在于，在烘干碳化硅湿料时所用的烘干方法包括：流化床干燥法、固定床干燥法；烘干温度40～150℃，烘干压力包括常压干燥和真空干燥；所述分级方法包括：筛分法和气流法分级。

9、根据权利要求1所述从硅片切割加工副产物回收碳化硅的方法，其特征在于，所述乙二醇包括乙二醇单甲醚、乙二醇二甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇双乙醚、乙二醇单丁醚中的一种或几种混合液；

10、根据权利要求7所述从硅片切割加工副产物回收碳化硅的方法，其特征在于，所述金属氢氧化物为氢氧化钠、氢氧化钾或碳酸钠；所述无机酸为硫酸、碳酸、硝酸、盐酸；所述有机酸为草酸、柠檬酸。