[发明专利]一种测定光电器件微区光反射谱的方法及装置无效
| 申请号： | 200810019834.1 | 申请日： | 2008-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN101241027A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | 黄寓洋;杨晨;刘伟;曾春红;张耀辉 | 申请（专利权）人： | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01J3/12 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215125江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测定 光电 器件 微区光 反射 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种测定光电器件微区光反射谱的方法，将激光器发出的激光光束聚焦成所需直径的光束，精确投射到待测量的微区上，用探测器收集从微区反射出来的激光光束，其特征在于：所述激光光束的聚焦通过金相显微镜的照明光路实现，利用金相显微镜的目镜进行观测，并微调光电器件的位置，实现所述激光束的精确投射。
2.一种测定光电器件微区光反射谱的装置，其特征在于：包括金相显微镜(6)、半透半反镜(2)、激光器(1)和探测器(3)，所述半透半反镜位于金相显微镜的照明光路上，用于将所述激光器(1)发射的激光光束耦合进金相显微镜的光学系统中，被检测样品(4)位于所述金相显微镜的载物台(8)上，所述探测器(3)位于反射光的光路上。
3.根据权利要求2所述的一种测定光电器件微区光反射谱的装置，其特征在于：所述激光器(1)是可调谐激光器。
4.根据权利要求2所述的一种测定光电器件微区光反射谱的装置，其特征在于：所述金相显微镜(6)具有照相通道(7)，所述探测器(3)位于照相通道(7)内。
5.根据权利要求2所述的一种测定光电器件微区光反射谱的装置，其特征在于：所述金相显微镜(6)无照相接口，在反射光的主光路上设置半透半反镜(5)，所述探测器(3)位于所述半透半反镜(5)的垂直主光路上。
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