[发明专利]新型双动镜干涉仪

权利要求书

1. 一种新型双动镜干涉仪，包括30度角设置在入射光束光路上的一个分束器，该分束器适于从一个入射光束产生一个第一和一个第二光束；还包括设置在分束器反射光束光路上的第一平面镜和设置在分束器透射光束光路上的第二平面镜，所述第一平面镜和第二平面镜与分束器之间的夹角均为30度；还包括设置在光束光路上的第一动镜和第二动镜、以及探测器和将经第一动镜和第二动镜反射的光束会聚到探测器上的收集镜。

其特征在于：

所述的第一动镜位于所述第一平面镜的反射光束光路上，所述的第二动镜位于所述第二平面镜的反射光束光路上，它们均为平面反射镜；所述的第一动镜和第二动镜被一个刚性结构背靠背地平行固定在一起，作为一个单独的运动部件；所述的第一动镜和第二动镜之间的距离几乎为零，它们的反射面处于相反的方向；所述的第一动镜、第二动镜、分束器之间相互平行，它们与入射平行光束之间的夹角均为30度；所述的第一动镜和第二动镜沿分束器的法线方向做直线往复运动。

所述的第一平面镜和入射光束相互平行，所述的第二平面镜与入射光束之间的夹角为60度；所述的第一平面镜、第二平面镜与分束器之间的夹角均为30度；所述的分束器、第一平面镜、第二平面镜、第一动镜、第二动镜的中心位于同一个平面内。

2. 根据权利要求1所述的一种新型双动镜干涉仪，其特征在于：如果所述的分束器在入射光束方向上第二个面为半反射面，在该分束器与第二平面镜之间的光路上还设置有同时补偿各种波长光程差的补偿板；该补偿板与分束器完全相同且平行放置；此时第一平面镜和第二平面镜关于分束器的半反射面对称，分束器的半反射面、第一平面镜、第二平面镜的中心位于等边三角形的三个顶点上。

3. 根据权利要求1所述的一种新型双动镜干涉仪，其特征在于：如果所述的分束器在入射光束方向上第一个面为半反射面，在该分束器与第一平面镜之间的光路上还设置有同时补偿各种波长光程差的补偿板；该补偿板与分束器完全相同且平行放置；此时第一平面镜和第二平面镜关于分束器的半反射面对称，分束器的半反射面、第一平面镜、第二平面镜的中心位于等边三角形的三个顶点上。

4. 根据权利要求1～3任一所述的一种新型双动镜干涉仪，其特征在于：所述的收集镜为会聚透镜或会聚透镜组。