[发明专利]一种用压电叠堆精密定位的方法和装置

权利要求书

1.一种用压电叠堆精密定位的方法，其特征在于：首先通过对精密定位装置进行标定来建立外力F和输出位移的关系曲线，采用逐级加载法，从满量程的10％开始，逐级加至满量程，记录结果，并分别描绘出外力F与压电陶瓷叠堆(2)的弹性位移，外力F和压电陶瓷叠堆(2)二次逆压电位移的关系曲线，由此确定精密定位过程中需要加载外力F的大小，然后通过下面的步骤来实现精密定位：

第一步，预处理：通过通孔(c)将装置固定，分别调节四个预紧螺钉(6)产生额定预紧力，来消除压电晶片间以及压电陶瓷叠堆(2)和弹性片(3)的胶接间隙，短接压电陶瓷叠堆(2)的两个电极，中和掉由预紧带来的电荷；

第二步，粗定位：在压电陶瓷叠堆(2)的电路断开状态下施加外力F作用于凸台(b)的中心线上，外力F通过上盖(5)作用到压电陶瓷叠堆(2)上产生弹性位移实现粗定位；

第三步，精定位：粗定位完成后随即短接压电陶瓷叠堆(2)的两个电极，一次正压电效应产生的感生电场被消除，通过压电陶瓷叠堆(2)的二次逆压电效应产生的压电位移实现精定位。

2.根据权利要求1所述一种用压电叠堆精密定位的方法采用的装置，其特征在于：由底座(1)、压电陶瓷叠堆(2)、弹性片(3)、调整垫(4)、上盖(5)和预紧螺钉(6)构成，底座(1)由上、下两个圆柱体组成，下圆柱体上均匀布置四个通孔(c)，上圆柱体中空，设有用于定心的凹槽(a)；将压电陶瓷叠堆(2)放入凹槽(a)内，矩形的所述弹性片(3)粘结到涂有704高阻绝缘胶的压电陶瓷叠堆(2)的上表面，704高阻绝缘胶形成粘胶剂层(7)，将用来调节上盖(5)与底座(1)的上表面之间的预紧余量ε的调整垫(4)放到弹性片(3)上，调整垫(4)上安放圆形的所述上盖(5)，其顶端有用于定心的凸台(b)，凸台(b)与凹槽(a)的中心重合，用四个所述预紧螺钉(6)连接上盖(5)与底座(1)。