[发明专利]比例阀门对精密气压控制装置

权利要求书

1、比例阀门对精密气压控制装置，其特征是：由双传感器、比例阀门对、恒流源、传感器调理电路、实用微分电路、PID控制电路、高分辨率DA转换器、比例阀门驱动电路和串行接口相互连接构成；

其中：双传感器由计算机(1)与通讯电路(2)、单片机(3)、模数转换单元(4)、模拟PID控制电路(5)、阀门驱动器(6)相互连接并信号供给气容(7)，同时气容与被检仪表相连通，压力源通过减压阀(8)减压供给气容，气容与真空泵(8.1)相通，经过减压的气体流经过比例阀门进入气容，调理放大电路(10)和模拟传感器(9)将压力信号转换成电信号，并回馈到模拟PID控制电路中，气容中所产生的电信号通过数字传感器(11)与计算机相连通，形成可控、可显示的气压数字信号；

其中：比例阀门对由加压泵(12)通过管路与压力表(13)连通，同时供给减压阀(8)，通过减压阀减压后供给进气比例阀(14)中，并与气容(7)相连通，然后通过抽气比例阀(15)、过滤器(16)与真空泵(17)相连通，气体经过气容形成气体压力信号，数字传感器(11)通过气容后供给模拟传感器(9)，形成模拟气压电信号。

2、根据权利要求1所述的比例阀门对精密气压控制装置，其特征是：恒流源由由恒流源输入器(18)与恒流源运算放大器(19)和恒流源三极管(20)线路连接并接入到恒流源模拟传感器(21)中，通过恒流源电阻器(22)的作用共同构成恒流源控制器，三极管发射极输恒流源正端，电阻器(22)为恒流源负端，通过正输出端(23)和负输出端(24)为模拟传感器供电。

3、根据权利要求1所述的比例阀门对精密气压控制装置，其特征是：传感器调理电路由传感器正输入端(25)与传感器正输入端运算放大器(26)与传感器负输入端(27)与传感器负输入端运算放大器(28)共同为正向运算放大器(29)供电，又经过零点调整二极管及电阻为反向运算放大器(30)供电，经过分流电阻形成电流，通过传感器信号输出端(31)输出。

4、根据权利要求1所述的比例阀门对精密气压控制装置，其特征是：实用微分电路由电流通过微分电路输入端(32)经过电阻和电容同时供给微分电路初始调整运算放大器(33)和微分电路续继调整运算放大器(34)，然后通过可调电阻及定阻电阻供给微分电路输出端(35)，向外输出微分电流。

5、根据权利要求1所述的比例阀门对精密气压控制装置，其特征是：PID控制电路由压力给定与偏差调整信号供给压力初始调整器(36)，再经过压力信号比例放大器(37)、压力继续调整器(38)、稳压器(39)、压力电信号放大、驱动器(40)供给气路控制器(41)，其压力信号反馈于压力信号回馈器(42)和压力微分器(43)再回馈于压力继续调整器中。

6、根据权利要求1所述的比例阀门对精密气压控制装置，其特征是：高分辨率DA转换器由16位DA转换器(44)、12位DA转换器输入端(45)及直流参考标准源(46)分别通过电阻向DA运算放大器(47)提供信号，形成稳定高分辨率电信号通过直流输出端(48)输出。

7、根据权利要求1所述的比例阀门对精密气压控制装置，其特征是：比例阀门驱动电路由电流输入端(49)通过电阻分别供给主调整运算放大器(50)、副调整运算放大器(51)，然后经过副调整继发运算放大器(52)和主继发调整运算放大器(53)再经过副调整三极管(54)和主调整三极管(55)供给X1控制信号输出端(56)与X2控制信号输出端(57)，形成比例阀门驱动控制信号输出。

8、根据权利要求1所述的比例阀门对精密气压控制装置，其特征是：串行接口由数字压力传感器接入端(58)通过数字压力传感器分接口(61)供给电平转换接口(62)，微型计算机接入端(59)也通过微型计算机分接口(60)供给电平转换接口(62)，其中从电平转换接口引出RT输出端(63)和RS输出端(64)，连接至上位计算机上。