[发明专利]矩阵齿轮式超微研磨泵

权利要求书

1.矩阵齿轮式超微研磨泵是在同一齿轮泵壳体内设置了多行多列个模数相同、齿数相同相互串联啮合的齿轮，其特征在于：左右泵壳被中间分隔板对称地分为左右两部分，左右泵壳上都有多个排成矩阵行列能容置齿轮的圆弧空间，左右两个泵盖用螺栓和定位圆柱销使其与泵壳和分隔板组合为一体，三个装在左右泵盖和中间分隔板首行首列上的滑动轴承内插装着主动轴，两个宽体主动齿轮对称地套装在装有平键的主动轴上，中间分隔板的其他行列所有的轴孔上开有键槽并插入装着平键的被动齿轮轴，每个被动齿轮轴上对称地套装着多个装有滑动轴承并且宽度和等于两个主动齿轮宽度和的窄体被动齿轮。

2.根据权利要求1中所述的矩阵齿轮式超微研磨泵，其特征在于：在左右泵壳上除了容纳主动齿轮和末位被动齿轮所在的位置外，其余所有容纳被动齿轮所在位置处都设有一条半径大大地大于被动齿轮顶圆半径的圆弧形状的内流道空间。

3.根据权利要求1中所述的矩阵齿轮式超微研磨泵，其特征在于：在左右泵壳和分隔板位于容纳主动齿轮和与其啮合的被动齿轮处设置了进料通道，进料通道的上方用螺钉装有进料接头，左右泵壳、分隔板和进料接头之间夹有O型密封圈。

4.根据权利要求1中所述的矩阵齿轮式超微研磨泵，其特征在于：左右泵壳和分隔板位于容纳最末级的两个被动齿轮位置处设有循环排料通道，左泵盖在其对应位置设有与其相通的螺纹出口。

5.根据权利要求1中所述的矩阵齿轮式超微研磨泵，其特征在于：在泵壳的最底部设置的排料螺纹口与靠近底部的内流道连通。

6.根据权利要求1中所述的矩阵齿轮式超微研磨泵，其特征在于：左右泵壳和分隔板每两行齿轮空间之间都设有封闭的冷却水空腔，对应位置的左右泵盖上设置了可与外部冷却水管道联接的进出水口。