[发明专利]X射线衍射仪用多功能样品架

说明书

技术领域

本发明涉及的是X射线衍射仪用多功能样品架。

背景技术

X射线衍射仪是对材料的组成和原子级结构进行研究和鉴定的设备，通常X射线衍射仪的测角仪是依据样品的表面转动即放置的位置角度不同，对材料的原子排列、物相、各物相的百分比，晶粒大小、结晶度等进行检测。但对材料中的应力、织构、取向度、薄膜等的研究中，则需要样品做更多的运动相配合，例如：应力测量就需外加样品倾斜这一运动，织构测量需外加样品倾斜、自转、摆动，取向度检测需样品自转，薄膜测量需样品前后移动、样品倾斜等。

以往我们研究材料应力时，就需安装应力样品架，使样品倾斜几个角度进行测量，研究材料织构时，就需要安装织构样品架，使样品倾斜加自转来测量，研究材料取向度时就需要安装旋转样品架，使样品自转来进行测量，在研究镀膜外沿膜时，就需安装Φ扫描样品架，使样品倾斜和自转，而对于薄膜样品低角度入射测试时，还需要样品前后移动，而且以上所说的样品倾斜角度，往往需要手动控制，这就为这一方面的研究带来了诸多不便。

现有技术在X射线衍射如上所述对样品进行织构、应力、旋转、镀膜、Φ扫描等检测，需要各种专用测量样品架装安装在X射线衍射仪上进行测量，而且有些动作还实现不了，无法实现测量。随着现代材料科学的快速发展，往往对材料的研究不局限于单一方面，而是同一材料进行几个方面的同时研究。例如对于基板上的镀膜研究，不仅需要知道镀膜的定性情况，而且还需要了解镀膜的织构、应力、膜厚是否外沿膜等情况。目前用X射线衍射仪测量需要以下几步：1.首先要在X射线衍射仪上进行定性分析，检查镀膜涂镀情况；2.换下粉末样品台，换上织构样品架，进行样品取向检测；3.取下织构样品架，换上应力样品架，进行应力测量；4.取下应力样品架，换上Φ扫描样品架，进行外沿膜的判断；5.取下应力样品架换上旋转样品架进行镀膜的厚度检测。这些操作对普通的X射线衍射仪操作人员来说几乎是不可能完成的，因为不仅需要众多的样品架，而且还需要精确的安装各种样品架，X射线衍射仪对各种样品架安装精度要求非常高，只有精确安装样品架，正确的摆放样品，才能采集到准确信息，样品架多次安装，往往采集到的信息不是很准确，在满足以上条件的情况下，完整的测量一块样品需要几天的时间。随着X射线衍射仪应用的普及，越来越发现单一样品架不能满足应用要求。

发明内容

本发明的目的是提供一种使用方便的X射线衍射仪用多功能样品架。

本发明包括有底座1、环架装置2、传动架板装置4、样品架板装置6。

环架装置2包括有环架21、左右滑板22a、22b、齿板23、蜗杆24、电机25、26、滑块27a，在环架21内环面上开设有滑槽28，齿板23与滑槽28滑动配合，在齿板23上设有蜗轮齿与安装在环架21上的蜗杆24配合传动，左右滑板22a、22b与环架21通过滑槽滑动配合并与齿板23固定连接，电机25带动蜗杆24通过齿板23带动左右滑板22a、22b在环架21上转动，在左右滑板22a、22b上设置连接有滑块27a，电机26通过连接架30与滑板22b固定连接安装，在电机26轴上固定安装有螺杆套29。该环架装置2通过电机25带动蜗杆24，蜗杆24带动齿板23带动滑板22a、22b在环架21上围绕环架21轴心即Z轴做转动动作。

传动架板装置4包括有架板41、电机42、43、蜗杆45，蜗杆45通过轴承装置安装在架板41上，在电机43轴端上固定安装有伞齿轮47与蜗杆45轴端上的伞齿轮48配合带动蜗杆45转动，在电机42轴端上固定安装有凸轮46，在架板41后侧面上通过连接架37连接设有滑槽27b，滑槽27b与前述所说的左右滑板22a、22b上的滑块27a配合连接，使架板41相对滑板22a、22b前后滑动移动配合连接，在架板41固定设有螺母套49与前述所说的电机26轴上固定安装的螺杆套29配合带动架板41前后移动，在架板41前侧面上设有滑块50a。

样品架板装置6包括有架板61、样品盒62、样品盒座63、轴承装置64、蜗轮65、传动杆66、滑槽50b，滑槽50b与前术所说的架板41前侧面上设有的滑块50a滑动配合连接，使架板61与架板41实现平面滑动配合连接，样品盒座63通过轴承装置64安装在架板61上开设的安装孔上，蜗轮65固定安装在样品盒座63上，蜗轮65与前述所说的蜗杆45配合带动品盒座63转动，样品盒62安装在样品盒座63上，传动杆66与架板61固定连接，在传动杆66设有一对销轴67a、67b与前述所说的电机42轴端上固定安装的凸轮46配合，带动传动杆66及架板61沿K向移动。