[发明专利]用于基板制程的热交换系统

权利要求书

1.一种用于基板制程的热交换系统，其特征在于其包括：

一热泵装置，由一蒸发器、一压缩机、一冷凝器、一膨胀阀和多个通管所组成，该蒸发器藉由通管连接于膨胀阀与压缩机之间，该冷凝器亦藉由通管连接于膨胀阀与压缩机之间，且该冷凝器容置于一设有液体的容器中；

一个以上的热交换装置，由一壳体与设于壳体内的输送管所组成；

一集热装置，设于热泵装置与热交换装置之间；

两条以上的连接管，该连接管的一端连接于热泵装置的容器，另一端则连接于集热装置上；

两条以上的分配管，该分配管两端连接于集热装置与热交换装置间；以及

一条以上的输送管，是连接到基板制程中的各制程设备，该输送管的两端分别和热交换装置的输送管连接。

2.如权利要求1所述的用于基板制程的热交换系统，其特征在于其中所述的热泵装置与集热装置之间的连接管上、集热装置与各热交换装置之间的分配管上、各热交换装置与各制程设备上的输送管之间分设有一泵浦。

3.如权利要求1所述的用于基板制程的热交换系统，其特征在于其中所述的壳体内的输送管呈一连续曲折状。

4.如权利要求1所述的用于基板制程的热交换系统，其特征在于其中所述的集热装置内形成有呈一连续曲折状的连接管。