[发明专利]化学放大型抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：

树脂，所述树脂包含具有酸-不稳定基团的结构单元和由式(I)表示的结构单元：

其中R¹表示氢原子或甲基，环X表示C3-C30环烃基，其中一个-CH₂-被-COO-取代，并且所述C3-C30环烃基中的至少一个氢原子可以被取代，并且p表示1至4的整数，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，和

选自由式(II)表示的盐和由式(III)表示的盐的至少两种盐：

式(II)中，Y¹和Y²各自独立地表示氟原子或者C1-C6全氟烷基，A⁺表示有机抗衡离子并且R²¹表示可以被取代的C1-C30烃基，并且所述C1-C30烃基中的至少一个-CH₂-可以被-CO-或-O-取代，

A′^+-O₃S-R²³    (III)

式(III)中，R²³表示C1-C8直链或支链全氟烷基，并且A′⁺表示有机抗衡离子。

2.根据权利要求1所述的化学放大型抗蚀剂组合物，其中所述的具有酸-不稳定基团的结构单元是由式(IVa)表示的结构单元：

其中R²表示氢原子或甲基，R³表示C1-C8烃基，R⁴表示甲基，n表示0至14的整数，Z¹表示单键或-(CH₂)_r-COO-，并且r表示1至4的整数，或者

由式(IVb)表示的结构单元：

其中R⁵表示氢原子或甲基，R⁶表示C1-C8烃基，R⁷和R⁸各自独立地表示氢原子或可以含有至少一个杂原子的C1-C8一价烃基，并且R⁷和R⁸可以结合形成可以含有至少一个杂原子的C1-C8二价烃基，所述C1-C8二价烃基与R⁷和R⁸所结合的相邻的碳原子一起形成环，并且R⁷和R⁸可以结合形成在R⁷结合的碳原子和R⁸结合的碳原子之间的碳-碳双键，q表示1至3的整数，Z²表示单键或-(CH₂)_s-COO-，并且s表示1至4的整数。

3.根据权利要求1所述的化学放大型抗蚀剂组合物，其中所述的树脂还包含由式(V)表示的结构单元：

其中R⁹表示氢原子或甲基，R¹⁰和R¹¹各自独立地表示氢原子、甲基或羟基，R¹²表示甲基，t表示0至12的整数，Z³表示单键或-(CH₂)_u-COO-并且u表示1至4的整数。

4.根据权利要求1所述的化学放大型抗蚀剂组合物，其中所述的由式(I)表示的结构单元是由式(VIa)、(VIb)或(VIc)表示的结构单元：

其中R¹表示氢原子或甲基，p表示1至4的整数，R¹³表示甲基，x表示0至5的整数，R¹⁴表示C1-C4烃基、羧基或氰基，y表示0至3的整数，R¹⁵表示C1-C4烃基、羧基或氰基，z表示0至3的整数，并且当y为2或3时，多个R¹⁴可以相同或不同，且当z为2或3时，多个R¹⁵可以相同或不同。