[发明专利]工件轮廓的非接触式光学量测方法

权利要求书

1.一种工件轮廓的非接触式光学量测方法，其特征在于，包括：

一个光学检测系统架设步骤，将一光源、一发散物镜、一准直透镜，及一成像屏幕间隔地沿一光轴依序设置，使该光源发出的光线经过该发散物镜发散，并继续通过该准直透镜后成平行于该光轴的平行光束至该成像屏幕；

一个比对数据建立步骤，将一标准工件置于该光轴上并位于该准直透镜与成像屏幕之间，以该光源发出光线使该平行光束经过该标准工件后，于该成像屏幕上形成一作为量测标准的比对绕射图像，再用电荷耦合元件摄像装置撷取该比对绕射图像，将该比对绕射图像转换成一比对绕射条纹数字数据；

一个量测步骤，将一待量测的工件置于该比对数据建立步骤中该标准工件放置的位置，以该光源发出光线使该平行光束经过该待量测的工件后，于该成像屏幕上形成一待测绕射图像，再用电荷耦合元件摄像装置撷取该待测绕射图像，将该待测绕射图像转换成一待测绕射条纹数字数据；及

一个数据比对分析步骤，计算该待测绕射条纹数字数据与比对绕射条纹数字数据的差异，并进行将数字数据转换成影像的运算，而将该差异转换成该待量测的工件的一轮廓瑕疵影像。

2.根据权利要求1所述的工件轮廓的非接触式光学量测方法，其特征在于，该光学检测系统架设步骤还将一可聚光且具有一焦距的凸透镜装置，设置在该准直透镜与该成像屏幕之间且位于该成像屏幕前方该焦距长度的光轴位置上，且该标准工件与该待量测的工件都是置放于该准直透镜与该凸透镜装置之间的光轴上。

3.根据权利要求2所述的工件轮廓的非接触式光学量测方法，其特征在于，是用个人计算机以傅利叶转换分析运算将电荷耦合元件摄像装置撷取的绕射图像转换成数字数据，同时以反傅利叶转换分析运算将数字数据的差异转换成该轮廓瑕疵影像。

4.根据权利要求3所述的工件轮廓的非接触式光学量测方法，其特征在于，该光学检测系统架设步骤架设的光源是一可发出激光光线的激光装置。