[发明专利]执行机构、光扫描器以及图像形成装置

权利要求书

1.一种执行机构，其特征在于包括：

第一振动系统，包括框状的驱动部件、以及一对第一轴部件，所述一对第一轴部件以使所述驱动部件围绕X轴转动的方式、双支承所述驱动部件；

第二振动系统，包括设置于所述驱动部件的内侧的可动板、以及一对第二轴部件，所述一对第二轴部件以使所述可动板围绕与所述X轴正交的Y轴转动的方式、在所述驱动部件上双支承所述可动板；

驱动单元，具有磁性体、对该磁性体作用磁场的线圈、和向该线圈施加电压的电压施加单元，在所述可动板的俯视图中，所述磁性体和所述线圈中的一个设置于离开所述驱动部件上的所述X轴和所述Y轴的各自的轴的位置，其中，所述磁性体是永久磁体或软磁性体；以及

定位部，设置于所述驱动部件，决定所述磁性体或所述线圈的固定于所述驱动部件的固定位置，

通过由所述电压施加单元向所述线圈施加电压，使所述可动板围绕所述X轴和所述Y轴的各自的轴转动。

2.根据权利要求1所述的执行机构，其特征在于，

所述定位部与所述驱动部件一体形成。

3.根据权利要求2所述的执行机构，其特征在于，

所述驱动部件由SOI基板的一方的Si层形成，所述定位部由所述SOI基板的SiO₂层和另一方的Si层中的至少SiO₂层形成。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的执行机构，其特征在于，

所述磁性体设置于所述驱动部件，所述磁性体为长方形的永久磁铁，所述永久磁铁在所述可动板的俯视图中，连接其两极的线段通过所述X轴和所述Y轴的交点，以相对所述X轴和所述Y轴的各个倾斜的方式设置。

5.根据权利要求4所述的执行机构，其特征在于，

所述永久磁铁的长边方向的两端部固定于所述驱动部件，设置有一对所述定位部，用来固定所述永久磁铁的长边方向的两端部。

6.根据权利要求5所述的执行机构，其特征在于，

所述一对定位部在所述永久磁铁的长边方向，以隔着所述永久磁铁相互相对的方式，且以相互的分离距离与所述永久磁铁的长度大致相等的方式形成。

7.根据权利要求5或6所述的执行机构，其特征在于，

所述各定位部具有在所述永久磁铁的宽度方向上，以隔着所述永久磁铁相互相对的方式形成的一对相对部，该一对相对部彼此之间的分离距离与所述永久磁铁的宽度方向的长度大致相等。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的执行机构，其特征在于，

在所述驱动部件设置有所述磁性体，所述磁性体为软磁性体，在所述可动板的俯视图中，所述定位部以包围所述软磁性体的外周的方式设置。

9.根据权利要求8所述的执行机构，其特征在于，

在所述可动板的俯视图中，所述软磁性体为圆形。

10.根据权利要求1所述的执行机构，其特征在于，

在所述可动板的俯视图中，所述软磁性体以在由所述X轴和所述Y轴划分的四个区域中，位于具有相对所述X轴和所述Y轴的交点点对称的关系的两个区域内的方式设置有一对，所述线圈以与所述各软磁性体相对的方式设置有一对。

11.根据权利要求10所述的执行机构，其特征在于，

在所述可动板的俯视图中，所述一对软磁性体以相对所述X轴和所述Y轴的交点点对称的方式设置。

12.根据权利要求1所述的执行机构，其特征在于，

所述电压施加单元包括：电压产生部，用于产生周期性变化、其频率相互不同的第一电压和第二电压；以及电压叠加部，用于叠加所述第一电压和所述第二电压，其中，通过将在所述电压叠加部叠加的电压施加至所述线圈，使所述可动板以所述第一电压的频率围绕所述X轴转动，并以所述第二电压的频率围绕所述Y轴转动。

13.根据权利要求12所述的执行机构，其特征在于，

所述第二电压的频率与所述第二振动系统的共振频率相等，所述第一电压的频率与所述第一振动系统的共振频率不同。

14.根据权利要求1所述的执行机构，其特征在于，

所述可动板包括具有光反射性的光反射部。