[发明专利]减薄样品的方法和用于执行所述方法的样品载体

权利要求书

1.一种用于减薄样品的方法，所述方法包括：

·提供附着于探头(2)的样品(1)；

·提供样品载体(3)，所述样品载体表现出刚性结构(5)，所述刚性结构表现出该样品可以附着的边界(6)；

·将所述样品附着到所述刚性结构的所述边界；以及

·将所述样品暴露于铣削处理或蚀刻处理，以便至少部分地减薄所述样品，

其特征在于

·所述样品载体(3)装备有粘附到所述刚性结构(5)的支持膜(4)，所述支持膜至少部分地延伸超出样品可以附着的所述刚性结构的边界(6)，并且

·在将所述样品(1)附着到所述刚性结构(5)之前，将所述样品放到所述支持膜(4)上。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述样品(1)位于所述支持膜(4)的与所述刚性结构(5)相反的表面上。

3.根据权利要求2所述的方法，其中在将所述样品(1)放到所述支持膜(4)上之后，所述支持膜的一部分位于所述样品的一部分和所述刚性结构(5)之间。

4.根据前述权利要求的任一项所述的方法，其中所述边界(6)为外边界，使得所述支持膜(4)未完全被所述刚性结构(5)包围。

5.根据前述权利要求的任一项所述的方法，其中铣削所述样品(1)包括将所述样品暴露于粒子束。

6.根据前述权利要求的任一项所述的方法，其中利用EBID或IBID或LBID执行所述样品(1)的附着。

7.根据前述权利要求的任一项所述的方法，其中在所述铣削处理期间，所述支持膜(4)至少部分被去除。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述铣削处理至少从所述样品(1)的减薄部分(8A)完全去除所述支持膜(4)。

9.一种用于在粒子光学设备中承载样品(1)的样品载体(3)，所述样品载体装备有刚性结构(5)，所述刚性结构表现出样品可以附着的外边界(6)，其特征在于，所述样品载体包括用于支持所述样品的支持膜(4)，所述支持膜粘附到所述刚性结构(5)并从所述外边界(6)延伸，使得所述支持膜未完全被所述刚性结构包围。

10.根据权利要求9所述的样品载体，其中所述支持膜(4)为碳膜或聚合物膜。

11.根据权利要求9或权利要求10所述的样品载体，其中所述刚性结构(5)包括金属。