[发明专利]促动装置和使用了该促动装置的液体喷射头

权利要求书

1.一种促动装置，其具备压电元件，该压电元件由以可变位的方式设置在基板上的下电极、压电体层和上电极构成，

所述下电极具有：中央部平坦的平坦部、和端部向所述基板面倾斜的倾斜部，

所述压电体层设置在所述下电极上和所述基板上，

所述压电体层具备：第一压电体层，其由按照相对于所述下电极的平坦部的表面在直角方向上延伸的方式形成的多个柱状晶体构成；第二压电体层，其由按照相对于所述基板的表面在直角方向上延伸的方式形成的多个柱状晶体构成；和第三压电体层，其位于所述第一压电体层和所述第二压电体层之间，由在所述倾斜部上形成的多个柱状晶体构成；

所述第三压电体层的柱状晶体形成为：相对于所述倾斜部表面在直角方向上延伸，且随着朝向所述上电极侧而按照相对于所述基板的表面在直角方向上延伸的方式弯曲，并且，

所述压电体层的在所述上电极侧的面的所述第三压电体层的柱状晶体的晶粒的宽度，形成为比所述第一以及第二压电体层的柱状晶体的晶粒的宽度大。

2.根据权利要求1所述的促动装置，其特征在于，

所述压电元件由具有所述第一压电体层的压电体能动部、具有所述第二压电体层的压电体非能动部、和具有所述第三压电体层的压电体中间部构成。

3.根据权利要求1或2所述的促动装置，其特征在于，

在同一方向上，所述第三压电体层的柱状晶体的晶粒的宽度比所述第一以及第二压电体层的柱状晶体的晶粒的宽度宽。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的促动装置，其特征在于，

所述第三压电体层的柱状晶体的晶粒的宽幅方向与所述倾斜部的倾斜方向相对应。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的促动装置，其特征在于，

所述倾斜部相对于所述基板的表面的倾斜角度为5～50°。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的促动装置，其特征在于，

所述倾斜部的倾斜方向的长度为0.5～3μm。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的促动装置，其特征在于，

分别构成所述第一压电体层、所述第二压电体层和所述第三压电体层的柱状晶体为钙钛矿结构。

8.一种液体喷射头，其中具备：

流路形成基板，其设置有与喷射液体的喷嘴开口连通的压力产生室；和

权利要求1～7中任一项所述的促动装置，其作为在该流路形成基板的一面侧使所述压力产生室产生压力变化的液体喷射单元。