[发明专利]液体浓缩回收系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种液体浓缩回收系统，特别涉及一种可提升浓缩回收效率的液体浓缩回收系统。

背景技术

一般来说，光致抗蚀剂已普遍应用于光电半导体工艺之中。在光电半导体工艺中，光致抗蚀剂通常会被回收再利用，以降低制造成本。

光致抗蚀剂回收再利用的品质大致上会由下列因素所影响：(1)在光致抗蚀剂涂布工艺开始前，玻璃基板必须预先以与光致抗蚀剂具有相容性的化学品(例如，EBR)来湿润；(2)在光致抗蚀剂涂布工艺结束后，承载玻璃基板的承载平台必须使用与光致抗蚀剂具有相容性的清洗剂清洗；(3)光致抗蚀剂在开封使用后会吸取空气中的水份。如上所述，在不同工艺阶段所收集到的未完全使用的光致抗蚀剂可能会含有化学药品或水份，因而会影响光致抗蚀剂是否能够被回收再生或回收再生的品质。因此，在光致抗蚀剂的回收再生过程中，如何将不同工艺阶段所掺入的化学药品或水份彻底去除，已成为决定光致抗蚀剂是否可以再生使用的重要关键。

目前市场上并没有专门针对光电化学药品特性所开发的浓缩回收设备。因此，光致抗蚀剂的回收再生仅能迁就目前市场上的浓缩回收设备。然而，由于光致抗蚀剂具有热敏感、惧光、易吸附粉尘及水分等特性，故目前的浓缩回收设备无法精密掌控浓缩作业的时间及效果，因而会影响到光致抗蚀剂回收再生的处理时间及调配成本。

此外，就目前市场上的浓缩回收设备而言，其皆是采用一大厢体来浓缩被浓缩物。换句话说，被浓缩物是被置于大厢体之内，而干燥气体会与被浓缩物接触，因而可将被浓缩物中的水份或溶剂移除。在此，干燥气体与被浓缩物的接触可分为流动与不流动两种模式。

就传统厢型固定床式冷风浓缩设备而言，于燥气体乃是接触非流动的被浓缩物表面，以将被浓缩物中的水份或溶剂移除。然而，由于没有令被浓缩物产生流动来与干燥气体接触，故只有被浓缩物的表面会接触到用以吹除溶剂或水份的干燥气体。因此，被浓缩物的表面往往容易形成干膜，因而使得被浓缩物的浓缩均匀性、实际浓缩效率及浓缩作业时间均无法被精确控制。上述传统厢型固定床式冷风浓缩设备的例子可如中国台湾专利第471624号所披露。此外，以传统厢型固定床式冷风浓缩设备实际测试，其对被浓缩物所提供的浓缩效率约为2.35g/min。

就传统厢型流动床式冷风浓缩设备而言，其主要是在解决固定床式冷风浓缩设备的浓缩均匀性的缺点。干燥气体会接触流动的被浓缩物表面，以增加气液接触表面积。然而，由于被浓缩物与控制冷排及热排温度的装置皆是位于同一厢体之内，故厢体内会随时保持气液相浓度平衡，因而无法进行有效换气的浓缩作业。此外，传统厢型流动床式冷风浓缩设备，为解决干燥气体只接触未流动的被浓缩物的表面以致形成表面干膜，因而使得被浓缩物的浓缩均匀性、实际浓缩效率及浓缩作业时间无法被精确控制的问题。另外，传统厢型流动床式冷风浓缩设备对被浓缩物所提供的浓缩效率约为6.12g/min。

有鉴于此，本发明提供一种液体浓缩回收系统，其可使欲被浓缩的液体产生薄膜状流动并与用来吹除溶剂或水份的干燥气体接触，以及以连续循环处理的方式来提升液体的浓缩回收效率。

发明内容

本发明基本上采用如下所详述的特征，来解决先前技术所遭遇的问题。也就是说，本发明适用于光电半导体产业中的有机溶剂及化学品的回收再利用工艺，并且包括气体干燥机，具有湿气入口及干气出口，用以收集湿气及输出干气；至少一倾斜密闭腔体，具有至少一干气入口、湿气出口、回流入口、回流出口及沟槽状流动床板，其中，该干气入口相对于该湿气出口，并且连接于该气体干燥机的该干气出口，该湿气出口连接于该气体干燥机的该湿气入口，该回流入口相对于该回流出口，并且邻近于该湿气出口，该回流出口邻近于该干气入口，该沟槽状流动床板设置于该回流入口与该回流出口之间，该气体干燥机所输出的干气经由该干气出口及该干气入口输送至该倾斜密闭腔体之中，以及流经该倾斜密闭腔体的湿气经由该湿气出口及该湿气入口输送至该气体干燥机之中；收集容器，连接于该倾斜密闭腔体的该回流出口，用以容纳液体；以及泵浦，连接于该收集容器与该倾斜密闭腔体的该回流入口之间，其中，该收集容器中的该液体通过该泵浦的输送而经由该回流入口输送至该倾斜密闭腔体中的该沟槽状流动床板之上，以及流经该沟槽状流动床板的该液体经由该回流出口而回流至该收集容器之中。

同时，根据本发明的液体浓缩回收系统，还包括温度感测器，电性连接于该气体干燥机，并且设置于该倾斜密闭腔体的该干气入口之中，用以感测输送至该倾斜密闭腔体中的干气的温度。

又在本发明中，该沟槽状流动床板具有多个槽谷及多个槽峰，该等槽谷及该等槽峰交错排列，以及该液体流动于该等槽谷之中。