[发明专利]用于加热图案框架的设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种加热设备，更具体而言，涉及一种用于加热图案框架的设备，在LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)等的制造过程中，用所述图案框架在玻璃板上形成图案。

背景技术

一般而言，LCD装置是利用特性介于液体和固体之间的液晶的状态变化、以及偏光板的偏光特性来调节穿透液晶的光量，从而显示信息的显示装置。

更详细地，LCD包括具有驱动装置的下基板、具有彩色滤光片层的上基板、填充在上基板和下基板之间的液晶、以及用作光源的背光单元，上述驱动装置例如是板型玻璃上的TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)。

在LCD的制造过程中，为了在基板上形成驱动装置、彩色滤光片等，需要在基板的表面上用特定材料形成薄膜。

然后，在“图案化”工艺中，在形成于基板上的薄膜之上可以形成特定的图案。在图案化工艺中，在将光致抗蚀剂淀积在基板上形成有薄膜的地方之后，进行包括曝光、显影、刻蚀、去除抗蚀剂等的一系列步骤。

由于进行这些步骤是非常复杂的，因此为了简便而出现了一种新的方法，所述方法将具有用于模制的图案的图案框架按压在基板的薄膜之上，然后将其压印。

在压印方法中，将具有用于模制的图案的图案框架加热，加热的图案框架接触或按压其上形成有薄膜的基板。在按压之后，由加热的图案框架接触的薄膜部分硬化，从而牢固可靠地在薄膜上形成图案，随后将图案框架与基板分离。

结合图1描述在这种图案化(压印)步骤中用于加热图案框架的加热设备。

图1是示出用于图案化工艺的相关技术的加热设备10的示意图。

如图所示，加热设备10配置有容置在壳体11内的热传导单元13。用于供热的加热装置15，例如电热丝，设置在热传导单元13中。而且，壳体11的一侧接触图案框架P，所述图案框架P具有对应于将要模制到形成有薄膜的玻璃基板上的图案(未示出)的形状。

在操作员的控制下，由加热装置15产生的热通过热传导单元13传递至图案框架P。被传递了热的图案框架P变热，并且当图案框架P接触玻璃基板时，在形成有薄膜的部分之上可以形成期望的图案。

在加热设备10中，以通过烧结热传导材料而形成的固体来形成热传导单元13。由于热传导单元13为固体形式，因此必须通过钻孔来形成孔，然后需将加热装置15插进孔内。

在制造加热设备10的过程中，热传导单元13的烧结和钻孔工艺需要很长的时间以及多道工序。由于热传导单元13和加热装置15的热膨胀系数不同、以及重复的加热和冷却，在热传导单元13中会产生裂缝。裂缝的产生会导致加热设备10和热传导单元13耐久性的劣化以及工作效率的降低。

由于热传导单元13是以固体形式而形成的，因此从加热装置15至图案框架P的热传递仅能通过热传导单元13中的热传导方法进行。也就是说，期望热传导单元13的热对流和/或热辐射是很难的。仅借助热传导，难于以快速和均匀的方式将热传递至热传导单元13，因而限制了快速和均匀地对图案框架P进行加热。

考虑到需要图案化的玻璃基板变得更大，如果需要加热设备10也更大，则大尺寸的热传导单元13应被整体地烧结，因此导致烧结工艺的难度。

而且，加热装置15是用电热丝来形成的，因此几乎只产生传导热。此外，电热丝只具有20％至30％的能量转化效率，而且对快速加热非常有限。

并且，加热设备10未配备特定的冷却装置，在图案化之后只能通过自然对流来冷却图案框架P。因此，难于快速和均匀地冷却。

发明内容

技术问题

因此，本发明的目的是制造一种用于加热图案框架的设备，以及为制造用于加热图案框架的大尺寸设备提供便利。

本发明的另一个目的是防止用于加热图案框架的设备因热变形而受损，以及确保向图案框架快速且均匀地热传递。

技术方案

为了实现这些以及其他的优点并且根据本发明的目的，如在此实施并宽泛描述的，提供一种用于加热图案框架的设备，包括：壳体，其具有内部(里部)空间，并且图案框架安装至所述壳体；发热单元，用于向壳体的内部空间供热；以及传热单元，其以粉末形式填充壳体的内部空间，用于将发热单元供应的热传递至图案框架。

根据本发明另一方面的用于加热图案框架的设备包括：壳体，其具有内部空间，并且图案框架安装至所述壳体；以及液体控制单元，其与壳体的内部空间连通，用于将加热的液体注入内部空间或者从内部空间收集加热的液体，以与图案框架进行热交换。