[发明专利]激光振荡器内出射镜的老化状态测定方法以及激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其具有：

激光振荡器，其射出激光束；

孔径部，其配置在从所述激光振荡器射出的激光束的光路上，遮挡该激光束的周边部分，使中央部分透过；

波束功率测定单元，其测定透过所述孔径部的激光束的波束功率；以及

控制单元，其基于在规定波束功率的激光束射出时由所述波束功率测定单元测定到的波束功率值，判断所述激光振荡器的出射镜的老化状态。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

所述规定波束功率是使老化的所述出射镜产生热透镜效应的程度的高波束功率。

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中，

所述控制单元具有存储部，其将针对没有老化的出射镜而由所述波束功率测定单元另外测定到的以所述高波束功率射出的激光束的波束功率值，作为基准值进行存储，

将存储在该存储部中的基准值与所述测定到的波束功率值进行比较，判断所述激光振荡器的出射镜的老化状态。

4.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中，

所述规定波束功率还包括不会使老化的所述出射镜产生热透镜效应的程度的低波束功率。

5.根据权利要求4所述的激光加工装置，其中，

所述控制装置具有计算部，其根据以所述低波束功率射出的激光束由所述波束功率测定单元测定到的波束功率值，利用比例式计算在以所述高波束功率射出的激光束由所述波束功率测定单元测定的情况下的预想的波束功率值，

将由该计算部计算出的波束功率值作为基准值，将该基准值与以所述高波束功率射出的激光束由所述波束功率测定单元测定到的波束功率值进行比较，判断所述激光振荡器的出射镜的老化状态。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的激光加工装置，其中，

所述孔径部的开口直径小于或等于激光束直径的60％。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的激光加工装置，其中，

在所述激光振荡器为射出脉冲激光束的激光振荡器的情况下，

在用于判断所述激光振荡器的出射镜的老化状态而对激光束的波束功率进行测定时，通过使脉冲频率、脉宽或者脉冲峰值功率中的至少1个值变化，由此使激光束的波束功率变化。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的激光加工装置，其中，

在所述激光振荡器为射出连续激光束的激光振荡器的情况下，

在用于判断所述激光振荡器的出射镜的老化状态而对波束功率进行测定时，使激光束的波束功率变化。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的激光加工装置，其中，

具有驱动单元，其用于将所述孔径部以及波束功率测定单元在出射镜的老化状态测定时，插入至从所述激光振荡器射出的激光束的光路上，在激光加工时从光路上移出。

10.根据权利要求1至8中任一项所述的激光加工装置，其中，

在激光加工时也使用所述孔径部。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的激光加工装置，其中，

在所述激光振荡器与所述孔径部之间的激光束光路上不配置产生热透镜的光学部件。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的激光加工装置，其中，

所述控制单元具有：

判断基准值，其用于判断出所述出射镜已老化；以及警告基准值，其设定为与该判断基准值相比较宽松，用于判断出接近了出射镜老化的时期。

13.一种激光加工装置，其具有：

激光振荡器，其射出激光束；

光学部件，其配置在从所述激光振荡器射出的激光束的光路上，使该激光束透过；

孔径部，其配置在透过所述光学部件后的激光束的光路上，遮挡该激光束的周边部分，使中央部分透过；

波束功率测定单元，其测定透过所述孔径部的激光束的波束功率；以及

控制单元，其基于在射出规定波束功率的激光束时由所述波束功率测定单元测定到的波束功率值，判断所述光学部件的老化状态。

14.根据权利要求13所述的激光加工装置，其中，

所述规定波束功率是使老化的所述光学部件产生热透镜效应的程度的高波束功率。