[发明专利]基板输送系统

权利要求书

1.一种基板输送系统，所述基板输送系统在收纳基板的第一以及 第二收纳盒和对所述基板进行处理的处理装置之间输送基板，所述处 理装置在与所述第一以及第二收纳盒的配置方向正交的方向与所述第 一以及第二收纳盒分离地配置，

其特征在于：具备同时输送传送器、同时输送传送器移动单元、 个别输送传送器、个别输送传送器移动单元，

所述同时输送传送器具有能够在与所述基板的输送方向正交的方 向排列地载置多张所述基板的宽度，能够在所述输送方向同时输送所 述多张所述基板；

所述同时输送传送器移动单元具备搭载所述同时输送传送器的支 承板，在第一位置和第二位置之间在所述配置方向移动所述同时输送 传送器，所述第一位置是在与所述第一收纳盒之间进行所述基板的移 载的位置，所述第二位置是在与所述第二收纳盒之间进行所述基板的 移载的位置；

所述个别输送传送器配置在所述同时输送传送器和所述处理装置 之间，具有能够在与所述输送方向正交的方向排列地载置所述多张所 述基板的宽度，能够在所述输送方向个别地输送所述多张基板；

所述个别输送传送器移动单元具备搭载所述个别输送传送器的支 承板，将所述个别输送传送器在所述配置方向移动，进行所述个别输 送传送器上的所述基板和所述处理装置的定位。

2.根据权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于：

在所述个别输送传送器移动单元上，设置了检测所述基板的尺寸 的传感器；

所述个别输送传送器移动单元，在所述配置方向使所述个别输送 传送器向与所述基板的尺寸相应的位置移动，进行所述基板和所述处 理装置的定位。

3.根据权利要求2所述的基板输送系统，其特征在于：

所述个别输送传送器具备多个传送器单元；

在所述个别输送传送器移动单元进行了所述基板和所述处理装置 的定位后，对所述多个传送器单元之中与所述基板的尺寸以及所述基 板的个别输送传送器上的位置相应地被选择了的所述传送器单元进行 驱动。

4.根据权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于：

还具备第一移载传送器、第二移载传送器、第一升降装置、第二 升降装置，

所述第一移载传送器配置在所述第一收纳盒的下部，载置被收纳 在所述第一收纳盒内的基板而在所述输送方向输送；

所述第二移载传送器配置在所述第二收纳盒的下部，载置被收纳 在所述第二收纳盒内的基板而在所述输送方向输送；

所述第一升降装置相对地升降所述第一收纳盒和所述第一移载传 送器；

所述第二升降装置相对地升降所述第二收纳盒和所述第二移载传 送器；

所述第一以及第二收纳盒在上下方向具备多个收纳所述基板的缝 隙，

在各缝隙中能够在与所述输送方向正交的方向收纳所述多张所述 基板，

所述第一以及第二移载传送器具有能够在与所述输送方向正交的 方向排列地载置所述多张所述基板的宽度，在所述输送方向同时输送 所述多张所述基板。

5.根据权利要求3所述的基板输送系统，其特征在于：

所述个别输送传送器移动单元，以所述基板位于与所述处理装置 相应的位置的方式，将所述个别输送传送器向与所述输送方向正交的 方向移动。

6.根据权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于：所述同时 输送传送器具有能够在所述输送方向排列地载置多张所述基板的长 度。

7.根据权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于：

所述同时输送传送器具备多个传送器单元，该多个传送器单元与 所述基板的尺寸及输送位置相应地被选择性地驱动；

所述同时输送传送器移动单元，以与所述基板的尺寸及输送位置 相应地设定的移动量，使所述同时输送传送器在所述配置方向移动。

8.根据权利要求4所述的基板输送系统，其特征在于：所述第一 以及第二移载传送器由多个辊传送器单元构成，该多个辊传送器单元 与所述基板的尺寸相应地被选择性地驱动。

9.根据权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于：

所述第一以及第二收纳盒以它们的所述基板的输入输出部朝向所 述输送方向的一方向的方式配置；

所述处理装置以该所述基板的输入输出部朝向所述输送方向的另 一方向的方式配置。