[发明专利]基板输送系统

权利要求书

1.一种基板输送系统，在收纳基板的第一及第二收纳盒和从所述 第一及第二收纳盒离开地配置并处理所述基板的处理装置之间输送基 板，其特征在于，具备：

第一同时输送传送机，该第一同时输送传送机配置在所述第一收 纳盒侧，具有能够在与所述基板的输送方向正交的方向排列放置多张 所述基板的宽度，能够在所述输送方向同时输送所述多张基板，

第二同时输送传送机，该第二同时输送传送机配置在所述第二收 纳盒侧，具有能够在与所述输送方向正交的方向排列放置多张所述基 板的宽度，能够在所述输送方向同时输送所述多张基板，

第一单独输送传送机，该第一单独输送传送机在所述处理装置侧 与所述第一同时输送传送机连续配置，具有能够在与所述输送方向正 交的方向排列放置所述多张基板的宽度，能够在所述输送方向将所述 多张基板单独地输送，

第二单独输送传送机，该第二单独输送传送机在所述处理装置侧 与所述第二同时输送传送机连续配置，具有能够在与所述输送方向正 交的方向排列放置所述多张基板的宽度，能够在所述输送方向将所述 多张基板单独地输送，

移动单元，该移动单元具有放置所述第一及第二单独输送传送机 上的所述基板的放置部，跨越所述第一及第二单独输送传送机，在与 所述输送方向正交的方向移动所述基板，

升降单元，该升降单元使所述放置部和所述第一及第二单独输送 传送机相对地升降。

2.如权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于，还具备：

第二移动单元，该第二移动单元具有放置所述第一及第二同时输 送传送机上的所述基板的第二放置部，跨越所述第一及第二同时输送 传送机，在与所述输送方向正交的方向移动所述基板，

第二升降单元，该第二升降单元使所述第二放置部和所述第一及 第二同时输送传送机相对地升降。

3.如权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于，所述第一及 第二单独输送传送机具有能够在所述输送方向排列放置多张所述基板 的长度，

对在所述第一及第二单独输送传送机上在所述输送方向排列放置 的多张所述基板的每一个基板都设置所述放置部，

所述移动单元在与所述输送方向正交的方向同时输送在所述输送 方向排列放置的多张所述基板。

4.如权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于，所述第一及 第二收纳盒在与所述输送方向正交的方向排列配置，

所述处理装置在所述输送方向从所述第一及第二收纳盒离开地配 置。

5.一种基板输送系统，在收纳基板的第一及第二收纳盒和从所述 第一及第二收纳盒离开地配置并处理所述基板的处理装置之间输送基 板，其特征在于，具备：

第一同时输送传送机，该第一同时输送传送机配置于所述第一收 纳盒侧，具有能够在与所述基板的输送方向正交的方向排列放置多张 所述基板的宽度，能够在所述输送方向同时输送所述多张基板，

第二同时输送传送机，该第二同时输送传送机配置在所述第二收 纳盒侧，具有能够在与所述输送方向正交的方向排列放置多张所述基 板的宽度，能够在所述输送方向同时输送所述多张基板，

单独输送传送机，该单独输送传送机在所述处理装置侧与所述第 一同时输送传送机连续配置，具有能够在与所述输送方向正交的方向 排列放置所述多张基板的宽度，能够在所述输送方向将所述多张基板 单独地输送，

第三同时输送传送机，该第三同时输送传送机在所述处理装置侧 与所述第二同时输送传送机连续配置，具有能够在与所述输送方向正 交的方向排列放置所述多张基板的宽度，

移动单元，该移动单元具有放置所述单独输送传送机及所述第三 同时输送传送机上的所述基板的放置部，跨越所述单独输送传送机及 所述第三同时输送传送机，在与所述输送方向正交的方向移动所述基 板，

升降单元，该升降单元使所述放置部和所述单独输送传送机及所 述第三同时输送传送机相对地升降。