[发明专利]弹性边界波器件以及使用该弹性边界波器件的通信器

说明书

技术领域

本发明涉及弹性边界波器件，尤其涉及能够降低无需响应的衰减量的 最大值的弹性边界波器件。

背景技术

就应用了弹性波的一个装置而言，从以前开始就众所周知弹性表面波 (SAW：Surface Acoustic Wave)装置。该弹性表面波装置例如使用于以 便携式电话为代表的、处理45MHz～2GHz的频率带中的无线信号的各种 电路。关于各种电路，例如可列举发送带通滤波器、接收带通滤波器、本 振滤波器、天线共用器、IF滤波器、FM变频器。

近几年，开发出了使用弹性边界波的弹性边界波器件(例如，参见专 利文献1)。图19是示出作为以往的弹性边界波器件的共振器的构造的俯 视图，图20是示出图19的D-D’线截面的截面图。在压电元件105上形 成有共振部101和反射器104。共振部101具有两个梳形电极102、102 (通常将两个作为一组称为梳形电极)。在共振部101和反射器104上形 成有第一介质106。在第一介质106上形成有第二介质107。

一旦在梳形电极102和梳形电极103之间施加交流电压，则在压电基 板105和第一介质106之间产生弹性边界波，相反，弹性边界波使得在梳 形电极102、103上产生电压。

专利文献1：国际公开号WO98/52279号单行本。

发明内容

(发明所要解决的问题)

可是，在上述弹性边界波器件中存在以下问题：除压电基板和第一介 质的边界以外，例如在第一介质和第二介质的边界处产生激振的弹性波， 该弹性波作为无需响应而影响特性。

本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于提供一种降低了无 需响应的大小的弹性边界波器件。

(用于解决问题的手段)

本发明的实施方式的弹性边界波器件包括：压电基板，具有压电性；

梳形电极，形成在所述压电基板上；第一介质，在所述压电基板上形 成为覆盖所述梳形电极；以及第二介质，形成在所述第一介质上；所述梳 形电极具有多个电极爪、以及连接所述多个电极爪的端部的汇流条。为了 解决上述问题，所述弹性边界波器件包括第三介质，该第三介质形成在所 述第一介质上，所述第二介质和所述第三介质接触于所述第一介质，所述 第一介质、所述第二介质以及所述第三介质通过各不相同的材料构成，形 成有第三介质的部分的长度相对于与所述电极爪的长度方向垂直的截面上 的弹性边界波的传播路径的长度的比例在所述电极爪的长度方向上不相 同。根据该结构，沿第一介质和第二介质的边界传播的弹性边界波的声速 与沿第一介质和第三介质的边界传播的弹性边界波的声速不相同，能够分 开无需响应，从而能够使无需响应的大小变小。

(发明效果)

根据本发明，在第一介质和第二介质的边界的局部上设置第三介质而 将无需响应分开，由此能够提供降低了无需响应的大小的弹性边界波器 件。

附图说明

图1是示出本发明的第一实施方式的单端口共振器的结构的俯视图；

图2是示出图1的A-A’线截面的截面图；

图3是示出图1的B-B’线截面的截面图；

图4是示出图1的C-C’线截面的截面图；

图5是示出本发明的第一实施方式的共振器中形成有第三介质的比例 的坐标图；

图6A是示出本发明的第一实施方式的共振器的插入损失特性的坐标 图；

图6B是将图6A的坐标图放大了的坐标图；

图7是示出本发明的第二实施方式的单端口共振器的结构的俯视图；

图8是示出图7的D-D’线截面的截面图；

图9是示出本发明的第二实施方式的共振器中形成有第三介质的比例 的坐标图；

图10是将本发明的第二实施方式的共振器中插入损失特性放大了的 坐标图；

图11是示出本发明的第二实施方式的单端口共振器的比较例的结构 的俯视图；

图12是将本发明的第二实施方式的共振器中插入损失特性放大了的 坐标图；

图13是示出本发明的第三实施方式的单端口共振器的结构的俯视 图；

图14是示出图13的J-J’线截面的截面图；

图15是示出本发明的第三实施方式的共振器中形成有第三介质的比 例的坐标图；