[发明专利]具有轴向磁场的辐射源

权利要求书

1.一种等离子体辐射源，包括：限定一个区域的阳极和阴极，在所述 区域内所述阳极和所述阴极之间产生等离子体电流；和磁体，所述磁体构 造成在所述区域中产生具有至少一个沿所述阳极和所述阴极之间的所述等 离子体电流的方向取向的分量的磁场；

所述阳极和所述阴极为环形，所述阳极和所述阴极设置在室内，

设置连接到所述阴极的气体源以分别提供预电离的气体和驱动气体进 入所述阳极和所述阴极之间的区域。

2.如权利要求1所述的等离子体辐射源，还包括束形成系统，所述束 形成系统构造成将从所述区域发射的辐射形成为辐射束。

3.如权利要求1所述的等离子体辐射源，其中所述磁体构造成在所述 区域内提供具有至少十毫特斯拉强度的所述磁场。

4.如权利要求1所述的等离子体辐射源，其中所述磁体包括永磁体、 电磁体或它们的组合。

5.一种用于将来自图案形成装置的图案投影到衬底上的设备，所述设 备包括：

等离子体辐射源，所述等离子体辐射源包括：限定一个区域的阳极和 阴极，在所述区域内所述阳极和所述阴极之间产生等离子体电流；和磁体， 所述磁体构造成在所述区域中产生具有至少一个沿所述阳极和所述阴极之 间的所述等离子体电流的方向取向的分量的磁场；和

照射系统，所述照射系统构造成将从所述区域发射的辐射形成为辐射 束；

所述阳极和所述阴极为环形，所述阳极和所述阴极设置在室内，

设置连接到所述阴极的气体源以分别提供预电离的气体和驱动气体进 入所述阳极和所述阴极之间的区域。

6.如权利要求5所述的设备，其中所述磁体构造成在所述区域内提供 具有至少十毫特斯拉强度的所述磁场。

7.如权利要求5所述的设备，其中所述磁体包括永磁体、电磁体或它 们的组合。

8.如权利要求5所述的设备，还包括：

支撑结构，所述支撑结构构造成支撑图案形成装置，所述图案形成装 置能够将图案在辐射束的横截面上赋予所述辐射束以形成图案化的辐射 束；

衬底台，所述衬底台构造成保持衬底；和

投影系统，所述投影系统构造成将所述图案化的辐射束投影到所述衬 底的目标部分上。

9.一种产生辐射的方法，包括：

在等离子体区域内从阳极到阴极产生等离子体电流；

在所述等离子体区域内提供具有至少一个沿所述等离子体电流的方向 取向的分量的磁场；和

从所述等离子体区域发射辐射；

所述阳极和所述阴极为环形，所述阳极和所述阴极设置在室内，

设置连接到所述阴极的气体源以分别提供预电离的气体和驱动气体进 入所述阳极和所述阴极之间的区域。

10.如权利要求9所述的方法，其中在所述等离子体区域内从外部施加 具有至少十毫特斯拉强度的所述磁场。

11.如权利要求9所述的方法，其中使用永磁体、电磁体或它们的组合 提供所述磁场。

12.如权利要求9所述的方法，还包括将图案在辐射束的横截面上赋予 所述辐射束以形成图案化的辐射束并将所述图案化辐射束投影到衬底的目 标部分上。

13.如权利要求9所述的方法，还包括将从所述等离子体区域发射的辐 射形成为辐射束。

14.一种器件制造方法，包括将图案化的辐射束投影到衬底上，所述方 法包括：

在等离子体区域内从阳极到阴极产生等离子体电流；

在所述等离子体区域内提供具有至少一个沿所述等离子体电流的方向 取向的分量的磁场；和

使用反射光学元件以将从所述等离子体区域发射的辐射形成为辐射 束；

所述阳极和所述阴极为环形，所述阳极和所述阴极设置在室内，

设置连接到所述阴极的气体源以分别提供预电离的气体和驱动气体进 入所述阳极和所述阴极之间的区域。