[发明专利]光微谐振器

权利要求书

1.一种光微谐振器系统，包括：

第一光波导，所述第一光波导能够支持导模；

光微腔，所述光微腔光耦合到所述第一光波导，并能够主要支持一种或多种谐振模，所述第一光波导的所述导模激发所述一种或多种谐振模的第一谐振模；以及

光微谐振器，所述光微谐振器光耦合到所述微腔，并能够支持第二谐振模，所述第一谐振模激发所述第二谐振模。

2.根据权利要求1所述的光微谐振器，其中所述第一谐振模包括第一行波模，并且所述第二谐振模包括第二行波模。

3.根据权利要求1所述的光微谐振器，其中所述第一谐振模包括第一驻波模，并且所述第二谐振模包括第二驻波模。

4.根据权利要求3所述的光微谐振器，其中所述第一驻波模包括第一和第二行波导模，其中所述第二驻波模包括第一和第二行波导模，并且其中：

所述第一驻波模的所述第一行波导模主要光耦合到所述第二驻波模的所述第一行波导模；以及

所述第一驻波模的所述第二行波导模主要光耦合到所述第二驻波模的所述第二行波导模。

5.根据权利要求1所述的光微谐振器，其中所述微腔为矩形固体。

6.根据权利要求1所述的光微谐振器，其中所述微谐振器在第一耦合区域中光耦合到所述微腔，所述微谐振器在所述第一耦合区域处与所述波导相距的距离为d，所述距离限定第一方向，所述微腔沿着正交所述第一方向的第二方向具有最大厚度h₁，所述微腔沿着所述第一方向具有最大尺寸W₁，并且沿着正交所述第一和第二方向的第三方向具有最大尺寸L₁，其中L₁/W₁为不大于约10。

7.根据权利要求6所述的光微谐振器，其中L₁/W₁为不大于约5。

8.根据权利要求6所述的光微谐振器，其中L₁/W₁为不大于约2。

9.根据权利要求6所述的光微谐振器，其中L₁/W₁为不大于约1。

10.根据权利要求6所述的光微谐振器，其中L₁为不大于约10微米。

11.根据权利要求6所述的光微谐振器，其中L₁为不大于约5微米。

12.根据权利要求6所述的光微谐振器，其中所述微谐振器沿着所述第一方向具有最大尺寸W₂，沿着所述第二方向具有最大厚度h₂，并且沿着所述第三方向具有最大尺寸L₂，其中W₂和L₂基本上相等。

13.根据权利要求1所述的光微谐振器，其中所述光微谐振器为微环形和跑道形中的一种。

14.根据权利要求1所述的光微谐振器，其中所述光微谐振器为单横向模式微谐振器。

15.根据权利要求1所述的光微谐振器，其中所述光微腔能够支持不超过100个波长在约0.3微米至约5微米的范围内的谐振模。

16.根据权利要求1所述的光微谐振器，其中所述光微腔能够支持不超过20个波长在约0.3微米至约5微米的范围内的谐振模。

17.根据权利要求1所述的光微谐振器，其中所述光微腔能够支持至少两个波长在约0.3微米至约5微米的范围内的谐振模。

18.根据权利要求1所述的光微谐振器，还包括第二光波导，所述第二光波导能够支持导模并且光耦合到所述光微腔。

19.根据权利要求18所述的光微谐振器，其中所述第一和第二光波导共线。

20.根据权利要求1所述的光微谐振器系统，其中所述微腔通过芯耦合而光耦合到所述第一波导，并且其中所述微谐振器通过芯耦合而光耦合到所述微腔。