[发明专利]高耐腐蚀性构件及其制造方法

权利要求书

1.一种高耐腐蚀性构件，是具备不锈钢制的基材、在该基材的表面的至少一部分被覆的中间层、和在该中间层的表面的至少一部分被覆的非晶碳膜的高耐腐蚀性构件，其特征在于，

所述中间层和所述非晶碳膜是在所述基材的表面的温度为450℃以下的低温下形成。

2.一种高耐腐蚀性构件，是具备表层部进行了氮化处理的不锈钢制的基材、和在该表层部的表面的至少一部分被覆的非晶碳膜的高耐腐蚀性构件，其特征在于，

所述氮化处理和所述非晶碳膜的形成是在所述基材的表面的温度为450℃以下的低温下进行。

3.根据权利要求1或2所述的高耐腐蚀性构件，其特征在于，

是在含有水的液体的存在下使用且所述非晶碳膜的表面与对方材料滑接的滑动部件。

4.根据权利要求3所述的高耐腐蚀性构件，其特征在于，

所述液体是用水稀释过的冷却剂。

5.根据权利要求3所述的高耐腐蚀性构件，其特征在于，

所述滑动部件是驱动轴和/或轴承。

6.根据权利要求5所述的高耐腐蚀性构件，其特征在于，

所述驱动轴和所述轴承是输送所述液体的水泵的轴承结构部。

7.根据权利要求1所述的高耐腐蚀性构件，其特征在于，

所述中间层是铬膜即Cr膜、钛膜即Ti膜、硅膜即Si膜、钨膜即W膜、或含有Cr、Ti、Si和W中至少1种的碳化物膜、氮化物膜或碳氮化物膜。

8.一种高耐腐蚀性构件的制造方法，其特征在于，包括：

使不锈钢制的基材的表面的温度为450℃以下而在该基材的表面的至少一部分形成中间层的中间层形成工序、和

使所述基材的表面的温度为450℃以下而在所述中间层的表面的至少一部分形成非晶碳膜的非晶碳膜成膜工序。

9.一种高耐腐蚀性构件的制造方法，其特征在于，包括：

使不锈钢制的基材的表面的温度为450℃以下而对该基材的表层部进行氮化处理的低温氮化处理工序、和

使所述基材的表面的温度为450℃以下而在氮化处理过的所述表层部的表面的至少一部分形成非晶碳膜的非晶碳膜成膜工序。

10.根据权利要求8所述的高耐腐蚀性构件的制造方法，其特征在于，

所述中间层形成工序是采用物理蒸镀法形成所述中间层的工序。

11.根据权利要求9所述的高耐腐蚀性构件的制造方法，其特征在于，

所述低温氮化处理工序是通过利用离子注入的离子氮化法或使用了氨水的液体氮化法进行氮化处理的工序。

12.根据权利要求8或9所述的高耐腐蚀性构件的制造方法，其特征在于，

所述非晶碳膜成膜工序是采用物理蒸镀法形成所述非晶碳膜的工序。

13.根据权利要求8或9所述的高耐腐蚀性构件的制造方法，其特征在于，

所述高耐腐蚀性构件是在含有水的液体的存在下使用且所述非晶碳膜的表面与对方材料滑接的滑动部件。

14.根据权利要求13所述的高耐腐蚀性构件的制造方法，其特征在于，

所述液体是用水稀释过的冷却剂。

15.根据权利要求13所述的高耐腐蚀性构件的制造方法，其特征在于，

所述滑动部件是驱动轴和/或轴承。

16.根据权利要求15所述的高耐腐蚀性构件的制造方法，其特征在于，

所述驱动轴和所述轴承是输送所述液体的水泵的轴承结构部。

17.根据权利要求8所述的高耐腐蚀性构件的制造方法，其特征在于，

所述中间层是铬膜即Cr膜、钛膜即Ti膜、硅膜即Si膜、钨膜即W膜、或含有Cr、Ti、Si和W中至少1种的碳化物膜、氮化物膜或碳氮化物膜。