[发明专利]在太阳能电池基板上进行电镀的方法与设备

权利要求书

1.一种在太阳能电池基板上形成金属层的设备，包含：

掩蔽板，其具有主体、第一表面、第二表面和多个孔，且该孔延伸穿过介 于第一表面与第二表面之间的主体；

接点，其与第一电源连通；

推板，其适以促使基板的金属化表面抵靠接点和掩蔽板的第一表面；

第一电极，其与第一电源电连通，其中第一电源设置成可相对于接点来电 偏压第一电极；以及

第二电极，其与第二电源电连通，且第二电源适以相对于接点或第一电极 来偏压第二电极。

2.权利要求1所述的设备，还包含泵，该泵适以向形成于被孔暴露的种 晶层的一部分与电极之间的空间内传送电解质。

3.权利要求1所述的设备，其中掩蔽板由选自由玻璃、塑料及陶瓷的材 料所形成。

4.权利要求1所述的1设备，其中金属化表面在太阳能电池基板的光接 收侧上，且掩蔽板的第一表面上的孔的截面积总和小于该太阳能电池基板的光 接收侧的表面积的30％。

5.权利要求1所述的设备，其中金属化表面在太阳能电池基板的非光接 收侧上，且掩蔽板该第一表面上的孔的截面积总和大于该太阳能电池基板的非 光接收侧的表面积的70％。

6.权利要求1所述的设备，还包含位于电极与金属化表面之间的扩散板， 其中该扩散板适以相对于基板的金属化表面旋转。

7.权利要求1所述的设备，还包含位于电极与金属化表面之间的扩散板， 其中该扩散板适以相对于基板的金属化表面线性移动或震动。

8.一种在太阳能电池基板上形成金属层的设备，包含：

容器，其具有适以容纳大量电解质的处理区域；

一排位于处理区域内电镀槽，其中该一排电镀槽中每个包含：

与电源连通的接点；

适以促使基板的金属化表面抵靠接点的推板；以及

与电源电连通的电极。

9.权利要求8所述的设备，其中：

电镀槽还包含掩蔽板，该掩蔽板具有主体、第一表面、第二表面和多个孔， 该孔延伸穿过介于第一表面与第二表面之间的主体；以及 推板还适以促使基板的金属化表面抵靠第一表面。

10.权利要求9所述的设备，其中掩蔽板由选自由玻璃、塑料及陶瓷的材 料所形成。

11.权利要求8所述的设备，还包含泵，该泵适以向位于处理区域内的每 个电镀槽中传送电解质。

12.权利要求8所述的设备，其中电极由选自由钛、铂、铜、及磷的材料 所形成。

13.权利要求8所述的设备，还包含控制器，该控制器适以控制每个电镀 槽中的电源，使得同时在每个基板上形成金属层。

14.一种在太阳能电池基板上形成金属层的设备，包含：

第一容器，其具有适以容纳大量电解质的第一处理区域；

基板固持组件，其适以固持二个或更多个基板，其中第一基板固持组件包 含：

一个或多个接点，其与电源电连通；以及

第一致动器，其适以促使该一个或多个接点的至少其中之一抵靠形成在该 二个或更多个基板每个的表面上的金属化区域，以形成电连接；以及

第一电极，设置在第一容器的该第一处理区域内并与第一电源电连通，其 中第一电源设置成相对于该一个或多个接点的至少其中之一电偏压第一电极。

15.权利要求14所述的设备，还包含掩蔽板，该掩蔽板具有主体、第一 表面、第二表面和多个孔，且该孔延伸穿过介于第一表面与第二表面之间的主 体，其中第一致动器还适以促使第一表面的至少一部分抵靠该二个或更多个基 板的每个的金属化区域。

16.权利要求14所述的设备，还包含第二电极，该第二电极设置在容器 的处理区域内，且与第二电源电连通，其中该第二电源设置成相对于该一个或 多个接点的至少其中之一来电偏压第二电极。