[发明专利]小型不定向传声器

权利要求书

1.一种传声器，包括：

a)一个壳体，该壳体至少限定了一个环绕的体积区域的多个侧壁；

b)一个膜片，该膜片可位移地支撑在该壳体的附近以形成用于该体 积区域的一个封闭区的至少一部分；以及

c)至少一个通气区域，该通气区域用于使在该体积区域内的压力与 环境均衡；

其中，由该膜片的位移引起的在该体积区域内的一种流体或气体的 体积的变化提供基本上全部的恢复力，该恢复力对抗该膜片响应于声压 波的运动。

2.根据权利要求1所述的传声器，其中，该壳体包括一个有孔的基 底以及一个盖件，该膜片、有孔的基底以及盖件基本上封闭该体积区域。

3.根据权利要求1所述的传声器，其中，该膜片包括一个微加工的 硅膜。

4.根据权利要求1所述的传声器，其中，该通气口包括一个间隙， 该间隙被置于该膜片的周边的至少一部分与该壳体的一个壁之间。

5.根据权利要求1所述的传声器，其中，该通气口响应于声振动引 起的该膜片的位移引导从中通过的一个流体的粘性流。

6.根据权利要求1所述的传声器，通过该传声器，在一个声频下该 传声器的灵敏度主要是由在该体积区域之内的空气的体积确定的。

7.根据权利要求1所述的传声器，进一步包括至少一个扭转支撑体， 用于可位移地支撑邻近该体积区域的该膜片。

8.根据权利要求1所述的传声器，进一步包括至少一个挠性支撑体， 该挠性支撑体用于可位移地支撑邻近该体积区域的该膜片。

9.根据权利要求1所述的传声器，其中，该膜片响应于声波围绕一 个转动轴线偏转。

10.根据权利要求1所述的传声器，进一步包括一个换能器，该换能 器用于将该膜片的位移转换为一个电信号。

11.根据权利要求1所述的传声器，进一步包括一个交叉指式换能器， 该交叉指式换能器用于检测该膜片的位移。

12.根据权利要求1所述的传声器，进一步包括一个光学换能器，该 光学换能器用于检测该膜片的位移。

13.根据权利要求1所述的传声器，其中，一个膜片响应是由一个二 阶线性振荡器模型来进行近似：

mx··+kx+Cx·=-PA---(1)]]>

其中，m是该膜片的质量，x是该膜片的位移，k是该膜片的有效机械刚 度，C是流经该通气口的一种流体的粘性阻尼系数，并且P是由于一种 施加的声场而入射在该膜片上的压力，其中k主要是由在该体积区域内 的空气的体积来限定。

14.一种形成传声器的方法，包括：

a)提供一个基底；

b)在该基底的一个上表面上沉积一个牺牲层；

c)在该牺牲层的一个上表面上沉积一个结构材料层以形成一个膜片 层；

d)在该结构材料层内产生至少一个间隙以将传声器膜片区域与周边 区域隔离开；

e)在该传声器膜片区域之下该基底内形成一个空隙体积；并且

f)移除该牺牲层的一部分。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，该基底包括一个硅晶片。