[发明专利]设有用于停用的装置的真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，其在泵送腔室(13)内包括阀(10，20)，所述阀(10，20)用于通过在所述泵的吸入和排放周期期间打开和关闭来控制操作，其特征在于：

所述阀(10，20)或者与其连接的部件至少部分由铁磁性材料形成；

磁感应器(4)施加在所述泵的所述泵送腔室(13)的由非铁磁性材料形成的壁(2)的外部；

铁磁性材料形成的传导元件(11)安装在所述泵送腔室(13)内，所述传导元件(11)适于将由所述磁感应器(4)直接或者间接产生的磁通传导到靠近在停用状态下所述阀(10，20)或者与其连接的部件采取的位置的极点(12)，

以便当所述磁感应器操作时将阀磁性吸引在停用位置，由此停止泵的气动操作，甚至不需要停止其之后会空闲的动作。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，在所述阀(10，20)安装在容纳于所述泵送腔室(13)中的转子(7)中的情况下，所述铁磁性材料形成的传导元件(11)也安装在所述泵的转子(7)中。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，在所述阀(10，20)的停用状态对应于其打开位置的情况下，每个磁通传导元件(11)具有限制相应的阀(10，20)的开放位移的位于靠近止动构件(12)的位置的极点(12)，或者本身形成止动构件(12)。

4.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，与所述阀(10，20)连接的铁磁性部件是布置成用于接收磁场作用并机械地作用在所述阀(10，20)上的中间铁磁性构件。

5.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，由传导磁通的所述传导元件(11)传导的磁通直接是由所述磁感应器(4)产生的磁通。

6.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，由传导磁通的所述传导元件(11)传导的磁通是由所述磁感应器(4)以通过作用在位于所述泵送腔室(13)内的电绕组上的方式产生的磁通。

7.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，所述位于所述泵送腔室内的电绕组安装在固定位置，所述磁感应器(4)产生交变磁通。

8.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，所述电绕组安装在所述泵的转子(7)上，并且其由于在由所述磁感应器(4)产生的感应磁场中的自身运动接收电磁感应。

9.根据权利要求8所述的真空泵，其特征在于，所述磁感应器(4)是由通直流的电缆(5)供应的电磁感应器。

10.根据权利要求8所述的真空泵，其特征在于，所述磁感应器(4)是永磁体，该永磁体设有用于接纳或者截取朝着所述泵送腔室(13)传送的由所述磁感应器(4)产生的磁通的装置。