[发明专利]添加了螯合剂的药液的精制方法

权利要求书

1.一种添加了螯合剂的药液的精制方法，其是在半导体制造工 序中使用的含有具有形成螯合能力的化合物的碱性药液的精制方法， 其特征在于，将所述药液用具有下述式(1)所示的官能团的有机络 合物吸附体进行处理，从而除去所述药液中含有的螯合物，该螯合物 由所述药液中含有的杂质金属镍、铜与由在碱性水溶液中形成阴离子 的物质构成的、具有形成螯合能力的化合物形成；

式(1)中的R₁为氢原子，R₂和R₃是碳原子数为1～4的相同或 不同的烷基；

所述有机络合物吸附体是具有作为弱碱性阴离子交换体性质的 物质。

2.权利要求1中记载的添加了螯合剂的药液的精制方法，其特 征在于，所述药液为半导体用研磨料浆或者含有选自氨、四甲基铵、 氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、胆碱 中的至少1种的水溶液或水分散液。

3.权利要求1中记载的添加了螯合剂的药液的精制方法，其特 征在于，所述药液为含有选自氨、四甲基铵、氢氧化钠、氢氧化钾、 碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、胆碱中的至少1种的半导体 用研磨料浆。

4.权利要求1中记载的添加了螯合剂的药液的精制方法，其特 征在于，所述药液中含有的具有形成螯合能力的化合物由选自胺类、 氨基羧酸类、羟胺类、磷酸类以及硫代化合物类中的至少1种构成。

5.权利要求1中记载的添加了螯合剂的药液的精制方法，其特 征在于，所述有机络合物吸附体由珠粒状、纤维状或膜状构成。

6.权利要求1中记载的添加了螯合剂的药液的精制方法，其特 征在于，所述有机络合物吸附体在柱子或塔中被填充1种或2种以上， 当为2种以上时以混合或层叠的形式填充，并且所述药液流过所述柱 子或塔中。

7.权利要求6中记载的添加了螯合剂的药液的精制方法，其特 征在于，所述柱子或塔是多个相连接的。

8.权利要求1中记载的添加了螯合剂的药液的精制方法，其特 征在于，将所述有机络合物吸附体和所述药液收纳在反应层内，在使 所述药液在所述反应层内流动化之后过滤所述药液。