[发明专利]用于工件储料器的可移除式室

权利要求书

1.一种工件储料器，包括：

用于储存多个工件的腔，所述腔划分成多个室，所述多个室在正常运 转期间为开启的，并且响应于故障情况中的紧急操作而被密封，以防止紧 急操作期间对所述室内的工件的污染；

机械手机构，所述机械手机构将工件从所述腔传送至IO站；和

紧急存取口，所述紧急存取口用于在发生机械手故障的情况下存取工 件，所述紧急存取口存取单独的室以防止对其它室的污染。

2.如权利要求1所述的工件储料器，进一步包括用于隔离所述室的密 封机构。

3.如权利要求2所述的工件储料器，其中在检测到故障情况时所述室 被自动密封。

4.如权利要求1所述的工件储料器，当不存取工件时所述室被密封。

5.如权利要求1所述的工件储料器，其中所述机械手机构包括用于处 理所述工件的整体圆周边缘夹持器。

6.如权利要求1所述的工件储料器，

其中所述工件以小于2.5mm的间距密集地储存；且

其中所述机械手机构包括用于处理密集地放置的所述工件的整体圆 周边缘夹持器。

7.如权利要求1所述的工件储料器，进一步包括检测机械手故障的传 感器机构。

8.如权利要求1所述的工件储料器，进一步包括用于紧急存取口的装 载锁闭件。

9.一种工件储料器，包括：

用于储存多个工件的腔；

机械手机构，所述机械手机构将所述工件从所述腔传送至IO站；和

紧急存取口，所述紧急存取口用于在储料器故障的情况下存取工件， 所述紧急存取口包括

至活动的工件移除设备的匹配接口，其中所述活动的工件移除设 备在紧急情况期间连接至所述储料器，以允许存取工件，并且

其中所述匹配接口允许移除工件而不暴露于外部环境。

10.如权利要求9所述的工件储料器，进一步包括用于与匹配接口匹 配的活动洁净室。

11.如权利要求9所述的工件储料器，进一步包括用于所述紧急存取 口的装载锁闭件。

12.如权利要求9所述的工件储料器，其中操作人员在处理工件时留 在活动洁净室的外面。

13.一种用于改善工件储料器的操作的方法，所述储料器包括：

用于储存多个工件的腔，所述腔划分成多个室，其中所述室在正常运 转期间为开启的，并且当检测到故障情况时能够被密封；

机械手机构，所述机械手机构将所述工件从所述腔传送至IO站；和

一个或多个紧急存取口，用于在发生机械手故障的情况下存取工件，

该方法包括下述步骤：

评估机械手机构发生故障；

在确定机械手故障之后密封所述室；以及

紧急存取室而不污染其它室。

14.如权利要求13所述的方法，其中通过传感器机构检测所述机械手 故障。

15.如权利要求13所述的方法，进一步包括下述步骤：

在确定所述机械手故障之后单独地密封所有室。

16.如权利要求13所述的方法，其中，一个室被启封而用于存取，而 其它室保持密封。

17.一种用于改善工件储料器的操作的方法，所述储料器包括：

用于储存多个工件的腔；

机械手机构，所述机械手机构将工件从所述腔传送至IO站；和

紧急存取口，所述紧急存取口用于在发生储料器故障的情况下存取工 件，所述紧急存取口包括至活动的工件移除设备的匹配接口，

该方法包括下述步骤：

将紧急存取口配合至活动的工件移除设备；以及

移除所述工件而不将所述工件暴露至外部环境。