[发明专利]上位控制装置、下位控制装置、画面操作权授予方法及存储了画面操作权授予程序的存储介质

权利要求书

1.一种上位控制装置，其经由网络连接具有能够显示用于操作基板处理装置的画面群的显示部的第一下位控制装置、和具有能够显示用于操作输送装置的画面群的显示部的第二下位控制装置，并具有能够显示在上述第一下位控制装置的显示部被显示的画面群和在第二下位控制装置的显示部被显示的画面群的显示部，且控制上述第一下位控制装置以及上述第二下位控制装置，其特征在于，具备：

画面数据库，其分别存储在上述第一下位控制装置的显示部上能够显示的画面群以及在上述第二下位控制装置的显示部上能够显示的画面群；

画面确定部，其根据从上述第一下位控制装置或者上述第二下位控制装置中的任一个发送来的画面的操作要求，从在上述画面数据库中存储的多个画面群中确定被要求了上述操作的画面群；

操作权判断部，其判断由上述画面确定部确定出的画面群的操作权是否分配给上述提出要求的下位控制装置；

操作权授予部，其在通过上述操作权判断部判断为将上述画面群的操作权分配给上述提出要求的下位控制装置的情况下，为了容许由上述第一下位控制装置、上述第二下位控制装置以及上述上位控制装置构成的多个控制装置中的、不同的控制装置对不同的画面群同时独立地进行操作，不变更上述确定出的画面群以外的画面群的操作权的授予对象，将上述确定出的画面群的操作权授予给上述提出要求的下位控制装置。

2.根据权利要求1所述的上位控制装置，其特征在于，在上述确定出的画面群的操作权被授予给上述多个控制装置中、上述提出要求的下位控制装置以外的控制装置时，上述操作权判断部判断为：在被授予了上述操作权的控制装置中正执行的处理结束之后，将上述确定出的画面群的操作权授予上述提出要求的下位控制装置。

3.根据权利要求2所述的上位控制装置，其特征在于，在由上述上位控制装置要求操作的画面群的操作权被授予给某一个下位控制装置时，上述操作权判断部判断为：在上述某一个下位控制装置中正执行的处理结束之后，将上述被要求的画面群的操作权授予上述上位控制装置。

4.根据权利要求3所述的上位控制装置，其特征在于，在从上述多个控制装置要求了相同画面群的操作时，上述操作权判断部判断为：按照预先确定的优先顺序，在上述多个控制装置中从优先顺序高的控制装置开始按顺序分配上述被要求的画面群的操作权。

5.根据权利要求1所述的上位控制装置，其特征在于，上述操作权判断部，判断是否预先禁止了对要求了上述操作的控制装置授予操作权，在被禁止时，判断为不对要求了上述操作的控制装置分配操作权。

6.根据权利要求3所述的上位控制装置，其特征在于，还具备：

输入部，其在由上述操作权授予部给上述上位控制装置授予了操作权时，接受使用在被授予了上述操作权的上位控制装置的显示部上显示的画面所输入的信息；

通信部，其在由上述操作权授予部给某一下位控制装置授予了操作权时，从被授予了上述操作权的下位控制装置中接收使用在被授予了上述操作权的下位控制装置的显示部上所显示的画面所输入的信息；

存储部，其存储表示了在上述基板处理装置中执行的多个基板处理的顺序的配方；

处理执行控制部，其基于在上述存储部中存储的各配方，并行地执行基于由上述通信部收到的信息所执行的规定的处理、和基于由上述输入部接受的输入信息所执行的其他的规定的处理。

7.根据权利要求6所述的上位控制装置，其特征在于，上述上位控制装置的显示部，基于由上述通信部对应于对在被授予了上述操作权的下位控制装置的显示部上显示的画面的输入操作而接收到的信息，以与被授予了上述操作权的下位控制装置的显示部上显示的画面的内容保持匹配性的方式，更新在上述上位控制装置的显示部上显示的画面的内容。

8.根据权利要求6所述的上位控制装置，其特征在于，上述上位控制装置的显示部，在下位控制装置中的某一个被授予了上述操作权的情况下，在预先禁止了在上述上位控制装置的显示部上显示被授予了上述操作权的画面群时，不显示上述画面群。