[发明专利]电子光学设备、X射线发射装置及产生电子束的方法

权利要求书

1、一种电子光学设备(1)，其包括下述沿光轴(25)布置的部件：

包括发射器(3)的阴极，其中，所述发射器具有用于发射电子的基本平坦的表面(9)；

用于在基本沿所述光轴(25)的方向上对所发射的电子进行加速的阳极(11)；

用于使经过加速的电子发生偏转的并且具有第一磁轭(41)的第一磁四极透镜(19)；

用于使经过加速的电子进一步发生偏转的并且具有第二磁轭(51)的第二磁四极透镜(21)；

以及用于使经过加速的电子进一步发生偏转的磁偶极透镜(23)。

2、根据权利要求1所述的设备，其中，所述磁偶极透镜(23)包括布置在所述第二磁轭(51)上的偶极线圈(57)。

3、根据权利要求1或2所述的设备，还包括散射电子收集器(31)。

4、根据权利要求1到3之一所述的设备，其中，所述部件中的每一个均具有相对于所述光轴(25)的对称性，并且其中，将所述部件相对于所述光轴(25)共轴布置。

5、根据权利要求1到4之一所述的设备，其中，所述设备(1)具有沿所述光轴(25)小于90mm的长度。

6、根据权利要求1到5之一所述的设备，其中，所述发射器(3)的平坦表面(9)是无结构的。

7、根据权利要求1到5之一所述的设备，其中，所述发射器(3)的平坦表面(9)存在精细结构。

8、一种X射线发射装置，其包括下述沿光轴(25)布置的部件：

根据权利要求1到7之一所述的电子光学设备(1)；以及

阳极圆盘(7)，将其布置为使经过加速的电子撞击到所述阳极圆盘(7)的电子接收表面上。

9、根据权利要求8所述的X射线发射装置，其中，所述阳极(11)和所述阳极圆盘(7)基本处于相同的电位上。

10、根据权利要求8或9所述的X射线发射装置，其中，将所述阳极(11)、所述第一磁四极透镜(19)、所述第二磁四极透镜(21)、任选的所述散射电子收集器(31)和所述阳极圆盘(7)全部连接至水冷却回路。

11、根据权利要求8到10之一所述的X射线发射装置，其中，从所述发射器(3)的电子发射表面(9)到所述阳极圆盘(7)的所述电子接收表面之间的距离小于150mm。

12、一种包括根据权利要求8到11之一所述的X射线发射装置的医疗X射线装置。

13、一种产生电子束的方法，所述方法包括如下步骤：

从发射器(3)的平坦表面(9)发射电子；

采用阳极(11)在基本平行于光轴(25)的方向上对所述电子进行加速；

采用第一磁四极透镜(19)使经过加速的电子发生偏转；

采用第二磁四极透镜(21)使经过加速的电子进一步发生偏转；

采用磁偶极透镜(23)使经过加速的电子进一步发生偏转。