[发明专利]生物传感器、其制作方法及包含其的生物传感设备

权利要求书

1.一种生物传感器，包含：

具有至少一个流体通道的支持单元，包含生物材料的流体流动经过该至少一个流体通道；以及

至少一个检测单元，布置在该支持单元上，使得该检测单元在该支持单元的该流体通道内三维地露出，该检测单元使用将与流动经过该流体通道的生物材料反应的反应材料来表面处理。

2.如权利要求1所述的生物传感器，其中该支持单元包含：

基板；以及

布置在该基板和该检测单元之间的绝缘层。

3.如权利要求2所述的生物传感器，其中该基板由选自由单晶硅、玻璃和塑料组成的群组的材料形成。

4.如权利要求2所述的生物传感器，其中该支持单元包含绝缘体上硅基板。

5.如权利要求1所述的生物传感器，其中该支持单元具有该检测单元布置在其上的平板顶侧。

6.如权利要求1所述的生物传感器，其中该检测单元具有叠置在该流体通道上的中心部以及不叠置在该流体通道上的侧部，该中心部宽度小于该侧部。

7.如权利要求1所述的生物传感器，其中该检测单元由电学特性随外部电场而变化的材料形成。

8.如权利要求1所述的生物传感器，其中该检测单元由选自由结晶硅、非晶硅和掺杂硅组成的群组的材料形成。

9.如权利要求1所述的生物传感器，其中该检测单元设置有多个，且这些检测单元布置为横过该流体通道。

10.如权利要求1所述的生物传感器，其中该支持单元的该流体通道设置有多个。

11.如权利要求10所述的生物传感器，其中这些检测单元的至少一个布置为横过这些流体通道的每一个。

12.如权利要求1所述的生物传感器，还包含用于连接该检测单元到外部装置的多个电极。

13.如权利要求12所述的生物传感器，其中这些电极布置在该检测单元上，使得这些电极不叠置在该流体通道上。

14.一种生物传感设备，包含：

具有入口和出口的腔体，包含生物材料的流体通过该入口进入且该流体通过该出口离开；以及

插入并固定在该腔体内的多个生物传感器，每一个生物传感器包含：

具有流体通道的支持单元，包含生物材料的流体流动经过该流体通道；以及

检测单元，布置在该支持单元上，使得该检测单元在该支持单元的该流体通道内三维地露出，该检测单元使用将与流动经过该流体通道的生物材料反应的反应材料来表面处理。

15.如权利要求14所述的生物传感设备，还包含用于连接相邻生物传感器的连接件。

16.如权利要求15所述的生物传感设备，其中该连接件具有与该生物传感器相同的外围。

17.如权利要求15所述的生物传感设备，其中该连接件具有位于面向该入口和该出口的部分的通孔。

18.如权利要求15所述的生物传感设备，其中该连接件由粘着材料形成或者包含使用粘着材料来表面处理的结构。

19.如权利要求14所述的生物传感设备，其中该入口和该出口布置为彼此相对。

20.如权利要求14所述的生物传感设备，其中该入口和该出口布置为面向该生物传感器的该流体通道。

21.如权利要求14所述的生物传感设备，其中该生物传感器的检测单元使用不同的反应材料来表面处理。

22.一种生物传感器的制作方法，包含步骤：

在基板的顶面上形成绝缘层；

在该绝缘层上沉积检测单元材料；

在该基板的底面上形成蚀刻阻挡层；

蚀刻该蚀刻阻挡层以露出该基板的底面的一部分；

使用该蚀刻阻挡层作为蚀刻掩模来蚀刻该基板和该绝缘层，以形成露出该检测单元材料的一部分的流体通道；以及

蚀刻该检测单元材料以形成与该流体通道相交的检测单元。

23.如权利要求22所述的方法，还包含，在形成该检测单元的步骤之后，在不叠置在该流体通道上的该检测单元的一部分上形成电极的步骤。