[发明专利]用于衬底处理系统的具有非均匀绝缘层的温度受控衬底夹持器

权利要求书

1.一种用于在衬底处理系统中支撑衬底的衬底夹持器，包括：

具有第一温度的温度受控支撑基座；

与所述温度受控支撑基座相对并且被配置来支撑所述衬底的衬底支 撑；

一个或多个耦合到所述衬底支撑的加热元件，其被配置来将所述衬底 支撑加热到高于所述第一温度的第二温度；以及

放置在所述温度受控支撑基座和所述衬底支撑之间的绝热体，其中所 述绝热体具有经过所述温度受控支撑基座和所述衬底支撑之间的所述绝热 体的传热系数(W/m²-K)的非均匀空间变化。

2.如权利要求1所述的衬底夹持器，其中所述传热系数在所述绝热体 的基本中央区域和所述绝热体的基本边缘区域之间沿径向方向变化，其 中，所述绝热体的基本中央区域是指如果所述衬底被放置所述衬底夹持器 上时，所述绝热体的将重叠衬底的中心的区域，所述绝热体的基本边缘区 域是指如果所述衬底被放置所述衬底夹持器上时，所述绝热体的将重叠衬 底的边缘的区域。

3.如权利要求1所述的衬底夹持器，其中所述绝热体具有所述绝热体 的热导率(W/m-K)的非均匀空间变化。

4.如权利要求3所述的衬底夹持器，其中所述热导率在所述绝热体的 基本中央区域和所述绝热体的基本边缘区域之间沿径向方向变化，其中， 所述绝热体的基本中央区域是指如果所述衬底被放置所述衬底夹持器上 时，所述绝热体的将重叠衬底的中心的区域，所述绝热体的基本边缘区域 是指如果所述衬底被放置所述衬底夹持器上时，所述绝热体的将重叠衬底 的边缘的区域。

5.如权利要求4所述的衬底夹持器，其中所述热导率在第一值和第二 值之间变化，所述第一值介于0.2W/m-K和0.8W/m-K之间，所述第二值 介于0.2W/m-K和0.8W/m-K之间。

6.如权利要求1所述的衬底夹持器，其中所述绝热体具有所述绝热体 的厚度的非均匀空间变化。

7.如权利要求1所述的衬底夹持器，其中所述一个或多个加热元件被 嵌入在所述衬底支撑内。

8.如权利要求1所述的衬底夹持器，其中所述一个或多个加热元件包 括位于所述衬底支撑的中央区域的第一加热元件和位于所述衬底支撑的边 缘区域的第二加热元件。

9.如权利要求1所述的衬底夹持器，其中所述衬底支撑包括嵌入在其 中的夹紧电极，所述夹紧电极被配置来将衬底电夹紧到所述衬底支撑。

10.如权利要求9所述的衬底夹持器，其中所述夹紧电极和所述一个 或多个加热元件被嵌入在所述衬底支撑内。

11.如权利要求10所述的衬底夹持器，其中所述夹紧电极和所述一个 或多个加热元件基本位于相同平面中。

12.如权利要求10所述的衬底夹持器，其中所述夹紧电极和所述一个 或多个加热元件位于不同平面中。

13.如权利要求10所述的衬底夹持器，其中所述夹紧电极和所述一个 或多个加热元件具有相同的物理电极。

14.如权利要求9所述的衬底夹持器，其中所述衬底支撑包括一个或 多个开口，通过该开口传热气体可以被提供到设在所述衬底支撑的上表面 上的衬底的背面。

15.如权利要求1所述的衬底夹持器，其中所述绝热体包括由塑料或 陶瓷制成的胶粘剂。

16.如权利要求1所述的衬底夹持器，其中所述绝热体包括由丙烯酸 酯类材料制成的胶粘剂。