[发明专利]惯性力传感器

说明书

技术领域

本发明涉及一种惯性力传感器，其用于飞机、汽车、机器人、船舶、车 辆等移动体的姿势控制及导航等各种电子设备中，检测惯性力。

背景技术

下面，对现有惯性力传感器进行说明。作为惯性力传感器，有角速度传 感器及加速度传感器等。通常，角速度传感器具有音叉形状或H形状或T形 状等各种形状的检测元件，使该检测元件振动，对伴随着科里奥利力的产生 而引起检测元件的变形进行电感应，检测角速度。加速度传感器具有连结有 锤部的检测元件，对伴随着锤部的活动而引起的检测元件的变形进行电感应， 检测加速度。为了感应变形，将由隔着压电体的上部电极和下部电极构成的 感应电极部配置在检测元件上，随着检测元件的变形，基于从感应电极部输 出的电流，检测角速度及加速度。

使这种角速度传感器及加速度传感器等多个惯性力传感器与要检测的惯 性力及检测轴对应，在车辆等移动体的姿势控制装置及导航装置等中使用。 另外，作为与该发明申请的相关联的现有技术文献信息，例如公知有专利文 献1。在这种现有惯性力传感器中，具有如下问题点：在基于从感应电极部输 出的电流来检测角速度或加速度时，检测元件的变形非常微小，从感应电极 部输出的电流也非常微小，检测灵敏度低。

专利文献1：(日本)特开2005-249395号公报

发明内容

本发明提供一种提高检测灵敏度的惯性力传感器。本发明的结构为：感 应部具有由隔着压电体的上部电极和下部电极构成的感应电极部，检测电路 部基于将从感应电极部的上部电极输出的输出值、和从感应电极部的下部电 极输出的输出值相加的值，检测作用于挠性体的惯性力。根据该结构，由于 基于将从感应电极部的上部电极输出的输出值、和从感应电极部的下部电极 输出的输出值相加的约为现有的二倍大小的值，检测作用于挠性体的惯性力， 因此，能够提高检测灵敏度。

附图说明

图1是本发明一实施方式的角速度传感器的检测元件的立体图；

图2是图1的A-A剖面图；

图3是本发明一实施方式的角速度传感器的检测元件的工作状态图；

图4是表示本发明一实施方式的角速度传感器的驱动处理及角速度检测 处理的电路方框图；

图5是本发明一实施方式的角速度传感器的角速度检测处理的电路图；

图6是本发明一实施方式的角速度传感器的角速度检测处理的电路图。

图7是本发明一实施方式的角速度传感器的角速度检测处理的电路图；

图8是表示本发明另一实施方式的角速度传感器的驱动处理及角速度检 测处理的电路方框图。

附图标记说明

1     检测元件

2     第一臂

4     第二臂

6     支承部

8     固定用臂

10    第三臂

11    锤部

12    凹部

13    压电体

14    下部电极

15    上部电极

17    第一驱动部

17a   第一驱动电极部

17b   第二驱动电极部

18    第二驱动部

18a   第三驱动电极部

18b   第四驱动电极部

19    第一感应部

19a   第一感应电极部

19b   第二感应电极部

20    第二感应部

20a   第三感应电极部

20b   第四感应电极部

具体实施方式

(实施方式1)