[发明专利]用于控制高真空处理系统中的基板的温度的装置和方法

权利要求书

1、一种用于控制被支撑件的温度的装置，所述被支撑件经受加热被支撑件的处理，所述装置包括：

支撑件，所述支撑件具有被构造成支撑所述被支撑件的表面，所述支撑件接收从被支撑件传递到所述表面的热；

与所述支撑件连接的热传递件，所述热传递件包括被构造成用于温度控制液体的流动的通道；

供给通道，所述供给通道延伸经过所述支撑件和热传递件，以与限定在所述支撑件的所述表面和被支撑件之间的热传递气体空间连通；以及

设置在所述支撑件和热传递件之间的多个热电装置，所述热电装置中的每个热电装置具有接近所述表面地接触所述支撑件的第一侧、和接近所述通道地接触所述热传递件的第二侧，且所述热电装置中的每个热电装置在所述第一和第二侧之间传递热，以调节所述支撑件的温度。

2、根据权利要求1的装置，其特征在于，它还包括：

至少一个温度传感器，所述温度传感器用于检测所述支撑件的温度且产生与所述检测温度相关的电信号。

3、根据权利要求2的装置，其特征在于，它还包括：

温度控制单元，所述温度控制单元与所述温度传感器连接以接收所述电信号，所述温度控制单元与所述热电装置连接，且所述温度控制单元适于基于所述电信号调节传递到所述热电装置的功率，以控制所述支撑件的温度。

4、根据权利要求3的装置，其特征在于，所述热电装置与温度控制单元串联连接。

5、根据权利要求3的装置，其特征在于，所述热电装置与温度控制单元并联连接。

6、根据权利要求1的装置，其特征在于，所述热电装置定位在所述支撑件的所述表面与所述热传递件中的所述通道之间。

7、根据权利要求1的装置，其特征在于，所述热电装置中的每个热电装置的所述第一侧是冷侧，所述热电装置中的每个热电装置的所述第二侧是热侧，用于将热从所述冷侧传递到所述热侧，以冷却支撑件。

8、根据权利要求1的装置，其特征在于，所述支撑件和热传递件限定出多个隔间，所述隔间中的每个隔间接收所述热电装置中的相应的一个热电装置。

9、根据权利要求8的装置，其特征在于，所述支撑件包括周边凸缘、以及由所述周边凸缘限界的肋栅格，用于限定所述隔间。

10、根据权利要求8的装置，其特征在于，所述隔间被设置成使所述热电装置设置在与所述支撑件的所述表面大致平行的平面上。

11、根据权利要求1的装置，其特征在于，它还包括：

与所述热传递气体空间连通的排出通道，所述排出通道允许热传递气体从所述供给通道流到所述排出通道。

12、根据权利要求1的装置，其特征在于，所述支撑件通过限制所述支撑件和热传递件之间的直接热传递的间隙与所述热传递件隔开。

13、根据权利要求12的装置，其特征在于，所述热电装置隔开所述支撑件和热传递件，以限定所述间隙。

14、一种用于控制被支撑件的温度的方法，所述方法包括：

使被支撑件暴露于加热被支撑件的离子束；

利用位于被支撑件的背侧和支撑件的表面之间的热传递气体空间中的背侧气体从被支撑件传递热；

利用多个热电装置冷却支撑件，所述热电装置将热从支撑件传递到热交换件；以及

利用导热液体流冷却热交换件。

15、根据权利要求14的方法，其特征在于，它还包括：

指定被支撑件在暴露于离子束时所要冷却到的参考温度；

测量表示被支撑件的温度的温度；以及

调节热电装置的操作，以补偿参考温度与测量温度之间的差。

16、根据权利要求15的方法，其特征在于，测量表示被支撑件的温度的温度还包括：

测量支撑件的温度。

17、根据权利要求15的方法，其特征在于，它还包括：

增加由离子束传递给被支撑件的功率；以及

减小表示温度，以补偿增加的传递功率。

18、根据权利要求14的方法，其特征在于，它还包括：

利用热电装置加热支撑件；以及

使容纳支撑件的真空容器通到大气压力。