[发明专利]发光晶体结构无效
| 申请号: | 200780026036.5 | 申请日: | 2007-03-06 |
| 公开(公告)号: | CN101490859A | 公开(公告)日: | 2009-07-22 |
| 发明(设计)人: | H·吴 | 申请(专利权)人: | 卢森特技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 王 岳;李家麟 |
| 地址: | 美国新*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 发光 晶体结构 | ||
1.一种设备,包括:
包括III族氮化物以及位于n型和p型III族氮化物之间的结的结构,该结构具有棱锥形或楔形形状。
2.如权利要求1所述的设备,其中该结包括具有III族氮化物的量子阱。
3.如权利要求2所述的设备,其中该量子阱具有量子阱层和势垒层,该量子阱层插入在势垒层之间,其中该量子阱层包括一个III族氮化物,该势垒层包括另一个III族氮化物。
4.如权利要求3所述的设备,其中该量子阱层的一个III族氮化物包括镓铟合金或镓铝合金,该势垒层的另一个III族氮化物包括氮化镓。
5.如权利要求1所述的设备,其中该结构具有楔形形状。
6.如权利要求1所述的设备,其中该结构具有棱锥形状。
7.一种设备,包括:
在衬底上的发光晶体结构,该结构具有n型和p型势垒区以及位于它们之间的结,该结被设置在该n型和p型势垒区的一个或多个表面上,该表面相对于该衬底的平坦表面倾斜。
8.如权利要求7所述的设备,其中该倾斜表面相对于该衬底的水平表面形成大约在55到65o之间的角。
9.一直制造设备的方法,包括:
形成发光晶体结构,包括:
在衬底上形成第一势垒区,该第一势垒区具有一个或多个相对于该衬底的平坦表面倾斜的表面;和
在该第一势垒区上方形成第二势垒区以在该倾斜表面上形成结,其中该第一势垒区包括n型或p型半导体晶体中的一个,该第二势垒区包括该n型或p型半导体晶体中的另一个。
10.如权利要求9所述的方法,其中该第一势垒区包括:设置在该衬底上的种子势垒层上方的M极性表面,以及设置在该包括蓝宝石的衬底上的N极性表面,其中该种子势垒层包括A1N层,该倾斜表面是通过湿法蚀刻该第一势垒区的N极性表面而形成。
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