[发明专利]原料的气化供给装置以及用于其的自动压力调节装置

权利要求书

1.一种原料的气化供给装置，其特征在于，具有：原料容器，贮留原料；流量控制装置，将来自载流气体供给源的一定流量的载流气体G₁一边进行流量调整一边向上述原料容器的原料中供给；1次配管路，导出积存在原料容器的上部空间中的原料的蒸气G₄与载流气体G₁的混合气体G₀；自动压力调节装置，基于上述1次配管路的混合气体G₀的压力以及温度的检测值来调节夹设在1次配管路的末端上的控制阀的开度，调节混合气体G₀所流通的通路截面积，从而将原料容器内的混合气体G₀的压力保持为恒定值；恒温加热部，将上述原料容器以及自动压力调节装置的除了运算控制部之外的部分加热至设定温度；将原料容器内的内压控制为期望的压力，同时向加工室供给混合气体G₀。

2.如权利要求1所述的原料的气化供给装置，其特征在于，基于恒温加热部的加热温度的最高值为150℃。

3.如权利要求1所述的原料的气化供给装置，其特征在于，令自动压力调节装置的控制阀为压电元件驱动型的常闭型金属膜片阀，并且令推压该金属膜片阀的膜片阀体的膜片推压部件为殷钢制。

4.一种原料容器内压的自动压力调节装置，用于原料的气化供给装置，其特征在于，具有：压力检测器P，夹设在供给由原料气化供给装置的原料容器导出的载流气体G₁与原料的蒸气G₄的混合气体G₀的1次配管路上，检测混合气体G₀的内压；温度检测器T，检测混合气体G₀的温度；压电元件驱动金属膜片型控制阀，与1次配管路的末端直接连结；运算控制部，基于上述温度检测器T的检测值而进行上述压力检测器P的检测值的温度修正，计算混合气体G₀的压力，并且将预先设定的压力与上述计算压力进行对比，而输出向两者的差减小的方向开闭控制控制阀的控制信号Pd；加热器，加热上述压力检测器、温度检测器以及控制阀的阀体至既定温度；将原料容器内的混合气体的内压保持为既定值，从而高精度地控制原料的供给流量。

5.如权利要求4所述的原料容器内压的自动压力调节装置，其特征在于，运算控制部构成为具有：对检测压力信号Po进行温度修正而计算检测压力信号Pt的温度修正电路；设定输入信号Ps以及控制压力输出信号Pot的输入输出电路；基准温度下的检测压力信号Pt与基准温度下的设定输入信号Ps的比较电路；输出使上述检测压力信号Pt与设定输入信号Ps的差信号变为零的方向的控制信号Pd的输出电路。

6.如权利要求4所述的原料容器内压的自动压力调节装置，其特征在于，使阀体的最高加热温度为150℃，并且使控制阀的膜片推压件为殷钢制。

7.如权利要求4所述的原料容器内压的自动压力调节装置，其特征在于，令控制阀为常闭型的控制阀，该常闭型的控制阀，壳体本体为设有多个开孔的开孔机壳，并且在压电元件驱动部的非动作时借助盘簧的弹性力经由膜片推压件而向下方推压膜片阀体而使膜片阀体与阀座抵接，此外在压电元件驱动部的动作时，借助压电元件的伸长而克服盘簧的弹性力而向上方提升膜片推压件，从而使膜片阀体从阀座离座。

8.如权利要求4所述的原料容器内压的自动压力调节装置，其特征在于，在控制阀的膜片推压件和膜片的上表面侧的任意一方或者双方上进行镀银，防止由膜片推压件与膜片之间的滑动导致的烧结。