[发明专利]标准工具和在标准工具上形成多个单元的系统和方法

说明书

发明背景

本申请的发明人在标准工具(mastering tool)上形成了确定性纹理表面 (textured surface)。然而，纹理表面在基本纹理图案上可叠加有无意形成的 干扰图案。此外，无意图案使标准工具的美学和形貌特性明显劣化。这些 图案可包括标准工具的波纹图案、带状图案、条状图案、条纹图案、细条 纹图案、木纹图案或色彩不均匀度。应当指出的是，具有较大单元开口尺 寸(例如大于100微米)的粗大图案往往较少出现上述问题。在单元开口尺寸 较小时，较容易出现上述问题。

特别是，在制造具有高度工程确定性纹理的标准工具时，纹理单元的 高度规则性使其易于受到纹理化装置的机械不精确性或振动的影响和纹理 化过程中任意微小不精确性的影响。此外，任何纹理化装置均存在一定程 度的不精确性。这种误差和规则纹理单元的相互作用/干扰导致形成不期望 获得的带或图案。此外，用于制造光学膜或片的具有高度工程性纹理的标 准工具将任意规则或不规则的带或图案转移到膜或片上(在标准工具本身具 有这些图案的情况下)。

因而，本申请的发明人认识到需要在标准工具上形成多个单元的改进 系统和方法，所述多个单元具有不同的单元几何尺寸和单元布局位置，从 而可最小化和/或消除标准工具上不期望获得的带或图案。

发明内容

根据示范性实施方式，提供在标准工具上形成多个单元的方法。该方 法包括朝向光线衰减装置发射具有第一功率级的第一激光脉冲。该方法还 包括生成第一信号，该第一信号具有基于第一幅值的幅度。第一幅值是与 标准工具的单元开口尺寸范围内单元开口尺寸的预定分布相关的多个幅值 之一。该方法还包括响应第一信号利用光线衰减装置使第一激光脉冲衰减 至第二功率级。该方法还包括利用衰减的第一激光脉冲在标准工具上的第 一位置处形成具有第一单元开口尺寸的第一单元。该方法还包括朝向光线 衰减装置发射具有第三功率级的第二激光脉冲。该方法还包括生成幅度基 于第二幅值的第二信号。第二幅值是与单元开口尺寸的预定分布相关的多 个幅值之一。该方法还包括响应第二信号利用光线衰减装置使第二激光脉 冲衰减至第四功率级。该方法还包括利用衰减的第二激光脉冲在标准工具 上的第二位置处形成具有第二单元开口尺寸的第二单元。

根据本发明另一示范性实施方式，提供在标准工具上形成多个单元的 系统。该系统包括激光器，配置该激光器以发射具有第一功率级的第一激 光脉冲。该系统还包括可操作地与激光器连通的控制器，配置该控制器以 生成幅度基于第一幅值的第一信号。第一幅值是与标准工具的单元开口尺 寸范围内单元开口尺寸的预定分布相关的多个幅值之一。该系统还包括光 线衰减装置，配置该光线衰减装置以接收第一激光脉冲和第一信号。进一 步配置光线衰减装置以响应第一信号使第一激光脉冲衰减至第二功率级， 使得第一激光脉冲在标准工具上的第一位置处形成具有第一单元开口尺寸 的第一单元。进一步配置激光器，以发射具有第三功率级的第二激光脉冲。 进一步配置控制器，以生成幅度基于第二幅值的第二信号。第二幅值是与 单元开口尺寸的预定分布相关的多个幅值之一。进一步配置光线衰减装置， 以接收第二激光脉冲和第二信号。进一步配置光线衰减装置，以响应第二 信号使第二激光脉冲衰减至第四功率级，使得第二激光脉冲在标准工具上 的第二位置处形成具有第二单元开口尺寸的第二单元。

根据另一示范性实施方式，提供在标准工具上形成多个单元的方法。 该方法包括朝向光线移位装置发射第一激光脉冲。该方法还包括生成幅度 基于第一幅值的第一信号。第一幅值是与标准工具上单元的位置误差距离 范围内位置误差距离的预定分布相关的多个幅值之一。该方法还包括响应 第一信号调节光线移位装置的操作参数。该方法还包括引导来自光线移位 装置的第一激光脉冲，使得第一激光脉冲在标准工具上的第一位置处形成 第一单元。该方法还包括朝向光线移位装置发射第二激光脉冲。该方法还 包括生成幅度基于第二幅值的第二信号。第二幅值是与标准工具上单元的 位置误差距离的预定分布相关的多个幅值之一。该方法还包括响应第二信 号调节光线移位装置的操作参数。该方法还包括引导来自光线移位装置的 第二激光脉冲，使得第二激光脉冲在标准工具上的第二位置处形成第二单 元。