[发明专利]加速度传感器

权利要求书

1.一种加速度传感器，包括：基座；以悬浮状态设置在所述基座表面上 的框架状桁条部分；由支撑部分、弹性部分以及固定部分形成的桁条部分支撑 及固定单元，其中所述桁条部分通过所述支撑部分及所述弹性部分以双重支撑 状态固定到所述基座，所述支撑部分在X轴方向上从所述桁条部分的任一侧向 外延伸；以悬浮状态设置在所述基座的所述表面上而且在Y轴方向上从所述桁 条部分的Y轴方向的任一侧向外延伸的连接部分；以及连接到所述相应连接部 分的远端的重量件部分，其中，所述基座具有平行于由X轴和Y轴限定的XY 平面的XY衬底表面，所述X轴、所述Y轴与Z轴相互垂直，

其中当所述框架状桁条部分变形时，所述重量件部分可在包括X轴方向、 Y轴方向以及Z轴方向的三轴方向上移动，

其中所述桁条部分设置有用于基于由所述重量件部分在X轴方向上的移 动引起的所述桁条部分的偏转来检测X轴方向上的加速度的X轴方向加速度 检测单元，用于基于由所述重量件部分在Y轴方向上的移动引起的所述桁条部 分的偏转来检测Y轴方向上的加速度的Y轴方向加速度检测单元，以及用于 基于由所述重量件部分在Z轴方向上的移动引起的所述桁条部分的偏转来检 测Z轴方向上的加速度的Z轴方向加速度检测单元，以及

其中所述Z轴方向加速度检测单元设置在所述框架状桁条部分的Y轴方 向延伸部分的近端附近，而所述Y轴方向加速度检测单元设置在所述Y轴方 向延伸部分的远端附近，所述Y轴方向延伸部分从所述框架状桁条部分被所述 支撑部分支撑的位置在Y轴方向上延伸。

2.如权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述框架状桁条部 分的Y轴方向延伸部分在其所述远端处的宽度小于所述框架状桁条部分的Y 轴方向延伸部分在其所述近端处的宽度。

3.如权利要求1或2所述的加速度传感器，其特征在于，从所述桁条部 分在X轴方向上的任一侧在X轴方向上延伸的所述支撑部分的中轴相互对齐， 从所述桁条部分在Y轴方向上的任一侧在Y轴方向上延伸的所述连接部分的 中轴相互对齐，以及所述桁条部分关于穿过所述支撑部分的所述中轴的X方向 中线对称，还关于穿过所述连接部分的所述中轴的Y方向中线对称。

4.如权利要求1或2所述的加速度传感器，其特征在于，所述框架状桁 条部分包括支撑部分侧带状部分和连接部分侧带状部分，所述支撑部分侧带状 部分的宽度与所述支撑部分在连接到所述桁条部分的端部处的宽度相同，并在 X轴方向上从相应的支撑部分延伸到所述桁条部分区域中，所述连接部分侧带 状部分的宽度与所述连接部分的宽度相同，并在Y轴方向上从相应的连接部分 延伸到所述桁条部分区域中，所述框架状桁条部分在Z轴方向上的所述连接部 分侧带状部分和所述支撑部分侧带状部分的厚度大于所述框架状桁条部分在Z 轴方向上的其它部分。

5.如权利要求1或2所述的加速度传感器，其特征在于，所述支撑部分 包括第一子支撑部分和第二子支撑部分，加固部分设置在被所述框架状桁条部 分环绕的空间中，所述加固部分沿连接第一部分和第二部分的直线延伸，所述 第一部分是与所述第一子支撑部分相连接的、所述框架状桁条部分的第一部 分，所述第二部分是与所述第二子支撑部分相连接的、所述框架状桁条部分的 第二部分，所述加固部分在其两端部处连接到所述框架状桁条部分。

6.如权利要求5所述的加速度传感器，其特征在于，所述加固部分在Z 轴方向上的厚度等于或基本等于所述桁条部分的支撑部分侧带状部分的厚度， 所述支撑部分侧带状部分的宽度与所述支撑部分在连接到所述桁条部分的端 部处的宽度相同，而且在X轴方向上从所述相应的支撑部分延伸到所述桁条部 分的区域中。

7.如权利要求1或2所述的加速度传感器，其特征在于，所述框架状桁 条部分在Z轴方向上在其整个区域上具有均匀的或基本均匀的厚度。

8.如权利要求1或2所述的加速度传感器，其特征在于，设置在所述桁 条部分上的所述Z轴方向加速度检测单元、所述Y轴方向加速度检测单元以 及所述X轴方向加速度检测单元包括压阻元件，其电阻根据由于所述桁条部分 的变形而在所述桁条部分中出现的应力改变而改变。