[发明专利]扩大测试仪驱动和测量能力的方法

权利要求书

1.一种探针卡组件，包括：

接口，被配置成接收来自测试仪的用于测试电子器件的测试信号；

探针，用于接触多个电子器件；以及

电子驱动器电路，每个电子驱动器电路被配置成通过多个探针来驱动测试信 号之一，其中可以把一个测试信号提供给不止一个电子器件。

2.如权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，还包括多个互连的基板， 其中在至少一个基板上设置驱动器电路。

3.如权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，每个驱动器电路的输出阻 抗小于电连接到所述驱动器电路的传输线的特征阻抗。

4.如权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，所述驱动器电路位于探针 的约12英寸内，所述驱动器电路通过所述探针来驱动测试信号。

5.如权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，与驱动器的最大工作频率 对应的波长约是驱动器和探针之间的距离的至少10倍。

6.如权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于：

把所述探针附加到探针基板上；

在导线板上设置驱动器电路；以及

把导线板连接到探针基板。

7.如权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，至少一个驱动器电路把从 测试仪接收到的一个测试信号驱动到多个探针。

8.如权利要求7所述的探针卡组件，其特征在于，至少一个驱动器电路把一 个测试信号驱动到至少四个探针。

9.如权利要求7所述的探针卡组件，其特征在于，至少一个驱动器电路把一 个测试信号驱动到至少三十个探针。

10.如权利要求7所述的探针卡组件，其特征在于，还包括设置在至少一个 驱动器电路和多个探针之间的多个电阻器，其中这些电阻器使多个探针之一与多个 探针中的其它探针电气隔离。

11.如权利要求10所述的探针卡组件，其特征在于，至少一个驱动器电路的 输出阻抗近似地等于多个电阻器的总有效电阻。

12.如权利要求10所述的探针卡组件，其特征在于，在附加多个探针于其上 的探针基板上，设置多个电阻器。

13.如权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，至少一个驱动器电路的 输出阻抗小于30欧姆。

14.如权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，至少一个驱动器电路的 输出阻抗小于20欧姆。

15.如权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，所述电子器件包括由未 分成单个的半导体晶片所构成的多个半导体管芯。

16.一种在电子器件上进行DC测量的方法，所述方法包括：

把来自电源的电能提供给电子器件；

把测试信号驱动到电子器件的输入；以及

测量由电子器件从电源中提取的电流。

17.如权利要求16所述的方法，其特征在于，在探针卡组件上设置所述电源， 所述探针卡组件包括被配置成接触电子器件的端子的多个探针，并且用于提供电能 的步骤包括通过各个探针把来自电源的电能提供给电子器件。

18.如权利要求17所述的方法，其特征在于，测量由电子器件所提取的电流 包括确定通过第一电能连接流向电子器件的电流以及通过第二电能连接从电子器 件流出的电流之间的差。

19.如权利要求17所述的方法，其特征在于，在探针卡组件上设置至少一个 驱动器电路，并且驱动测试信号的步骤包括驱动器电路通过至少一个探针来驱动测 试信号。

20.如权利要求16所述的方法，其特征在于，提供电能的步骤包括以第一电 压电平向电子器件提供第一电能输入并且以第二电压电平向电子器件提供第二电 能输入，其中第一电压电平高于第二电压电平。

21.如权利要求20所述的方法，其特征在于，测量电流的步骤包括测量流过 第二电能输入的电流。