[发明专利]玻璃制硬盘基板用成形模具

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃制硬盘基板用成形模具，更详细地说涉及含有碳化硅- 碳复合陶瓷的玻璃制硬盘基板用成形模具以及使用了该模具的玻璃制硬盘 基板的制造方法。

背景技术

玻璃制硬盘基板为信息记录装置中优选使用的磁记录介质用基板。该 玻璃制硬盘基板通常通过在成形模具的上模和下模之间配置玻璃原料，通 过热压成形为所需的形状，进而根据需要对表面进行研磨，从而制成制品。

作为用于成形这种玻璃制硬盘基板的成形模具的材料，由于热稳定性 优异，因此一直使用各种陶瓷(专利文献1)。

另外，专利文献2中公开了一种陶瓷复合烧结体，其中，作为对陶瓷、 玻璃、金属等进行成形加工时的成形模具的原料，将特定粒径的陶瓷材料 (碳化硅等)和特定粒径的碳以特定的比例进行了配合。

专利文献1：日本特开2002-230747号公报

专利文献2：日本特开2004-67432号公报

但是，在玻璃制硬盘基板的制造中，随着成形的高速化、高频率化， 上述专利文献1所记载的成形模具材料存在下述问题：表面易磨耗，玻璃 成分在高温下与成形模具表面发生反应，从而成形后的玻璃的表面精度降 低。另外，专利文献2所记载的陶瓷复合烧结体由于所含碳粒子的粒径微 小，因此存在下述问题：玻璃成分与成形模具表面牢固地密合，难以从上 述成形模具上剥离，因此难以连续成形。

发明内容

本发明涉及一种玻璃制硬盘基板用成形磨具(以下也称作“本发明的成 形模具”)，其是含有碳化硅-碳复合陶瓷的成形模具，其中，在所述碳化硅 -碳复合陶瓷中相对于100重量份碳化硅含有15～50重量份的碳粒子，所述 碳粒子的平均粒径为0.3～100μm的范围。

本发明还涉及玻璃制硬盘基板的制造方法，其包括在成形模具中配置 玻璃原料，并将所述玻璃原料进行压制成形的工序，其中，所述成形模具 为本发明的玻璃制硬盘基板用成形模具。

附图说明

图1为表示本发明的玻璃制硬盘基板用成形模具的一个例子的截面图。

图2为表示本发明的实施例的玻璃制硬盘基板用成形模具的上模的图， A为所述上模的截面图，B为所述上模的俯视图。

具体实施方式

(玻璃制硬盘基板用成形模具)

本发明的成形模具如上所述包含碳化硅-碳复合陶瓷(以下也称作“复 合陶瓷”)，该复合陶瓷含有相对于100重量份碳化硅为15～50重量份的碳 粒子，且所述碳粒子的平均粒径为0.3～100μm的范围。

如此，本发明的成形模具在所述复合陶瓷中含有相对于100重量份碳 化硅为15～50重量份的碳粒子，该含量与现有技术、例如上述专利文献1 的碳化硅复合陶瓷的制造中作为烧结助剂使用的碳量相比，为更多的量。 通过设定为这种含量，可以抑制玻璃成形时与玻璃的反应性，从而制成显 示高耐磨耗性和耐久性的成形模具。另外，还可以确保如专利文献2那样 碳含量非常高的陶瓷所无法实现的充分的耐久性。

另外，本发明的成形模具在所述复合陶瓷中所含的碳粒子的平均粒径 为0.3～100μm，该平均粒径与专利文献2的陶瓷中的碳粒子相比，是非常 大的粒径。通过使用这种大粒径的碳粒子，成形后的玻璃与成形模具表面 的密合性降低，可以实现良好的脱模性。

另外，从确保更良好的脱模性的观点出发，上述复合陶瓷中所含碳粒 子的平均粒径优选为0.5μm以上、更优选为0.7μm以上、进一步优选为1μm 以上。同样地，从确保更良好的脱模性的观点出发，上述复合陶瓷中所含 碳粒子的平均粒径优选为25μm以下、更优选为5μm以下。具体地说，碳 粒子的平均粒径优选为0.5～25μm、更优选为0.7μm～5μm、进一步优选为 1～5μm。上述碳粒子的平均粒径为利用激光衍射/散射光式粒径分布测定装 置(商品名LA720、堀场制作所公司制)测定的体积平均粒径D₅₀(以下相 同)。

另外，本发明的成形模具为玻璃制硬盘基板制造中使用的成形模具， 玻璃制硬盘基板可以是非晶态玻璃(无定形玻璃)制的基板，还可以是结 晶化玻璃(玻璃陶瓷)制的基板，只要是玻璃系的基板即可，没有特别限 制。

从确保更高耐磨耗性和耐久性的观点出发，上述复合陶瓷中所含碳粒 子的含量优选相对于100重量份碳化硅为15～45重量份，更优选为15～30 重量份。