[发明专利]用于热处理、尤其是通过焊接连接的方法和装置

权利要求书

1.一种对工件或元件进行温度处理的方法，所述方法用于通过使设置在焊料载体上的焊料熔化而在所述焊料和充当所述焊料载体的至少一个元件或工件之间形成焊接连接，其中在密封于周围区域的处理腔室中对至少一个元件进行加热并在接下来的方法步骤中进行冷却，其特征在于，所述元件的加热和冷却发生在所述处理腔室（12）的两个腔室区中；

将冷凝装置（15）从供给位置(II)位移到使所述腔室区彼此分隔开的分隔壁位置(Ⅰ),其中,在所述冷凝装置（15）设置在所述分隔壁位置(Ⅰ)时，形成气体通道，所述气体通道将所述腔室区彼此相连以使所述腔室区彼此连通,从而,冷凝装置（15）能够使对应加热过程产生的挥发性蒸发沉积。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述加热由加热装置（20）执行，并且所述冷却由第一冷却装置（25）执行，所述两种装置在所有情况都工作在基本恒定的温度下。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在加热所述焊料载体前，为了分隔所述腔室区将所述冷凝装置（15）从供给位置位移至将各所述腔室区彼此分隔的分隔壁位置。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述冷凝装置（15）至少在设置于所述供给位置期间被冷却。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在通过所述冷凝装置（15）与冷却腔室区（14）隔开的加热腔室区（13）中加热所述焊料载体期间，将真空施加于所述加热腔室区。

6.如权利要求2所述的方法，其特征在于，在通过所述加热装置（20）在加热腔室区（13）中加热所述焊料载体期间，所述焊料载体被设置在所述加热装置和与之相对设置的辅助加热装置（24）之间。

7.执行如权利要求1-6中的任一项所述的方法的装置，所述装置包括密封于周围区域的处理腔室（12），并包括用于加热所述焊料载体的加热装置（20）和用于冷却所述焊料载体的第一冷却装置（25），其特征在于，所述加热装置（20）和所述第一冷却装置（25）被设置在彼此分隔开的两个腔室区中;

将冷凝装置（15）从供给位置(II)位移到使所述腔室区彼此分隔开的分隔壁位 置(Ⅰ),其中,在所述冷凝装置（15）设置在所述分隔壁位置(Ⅰ)时，形成气体通道，所述气体通道将所述腔室区彼此相连以使所述腔室区彼此连通,从而,冷凝装置（15）能够使对应加热过程产生的挥发性蒸发沉积。

8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，所述冷凝装置（15）具体实施为所述冷凝装置可从供给位置位移至分隔所述腔室区的分隔壁位置的形式。

9.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述供给位置被设置在所述处理腔室之外。

10.如权利要求7所述的装置，其特征在于，所述冷凝装置（15）设有第二冷却装置（36）。

11.如权利要求10所述的装置，其特征在于，所述第二冷却装置（36）具体实施为至少在所述冷凝装置（15）的所述供给位置，所述第二冷却装置与所述冷凝装置（15）相互作用的形式。

12.如权利要求7所述的装置，其特征在于，所述冷凝装置（15）具体实施为金属分隔壁装置。

13.如权利要求12所述的装置，其特征在于，所述冷凝装置（15）具体实施为分隔板的形式。

14.如权利要求7所述的装置，其特征在于，使各所述腔室区彼此相连以使其彼此连通的分隔壁间隙（30）形成在设置于所述分隔壁位置的所述冷凝装置（15）和所述处理腔室（12）的腔室壁（23、29）之间。