[发明专利]聚硅氨烷废料的处理

说明书

技术领域

本发明涉及聚硅氨烷废料的处理方法以促进该废料的更安全、更成本有效的处置。

背景技术

聚硅氨烷用来制备基材表面上的固体硅酸盐(即玻璃)涂层，例如，半导体器件和平板屏幕。在涂覆过程之后，进行使用边珠清除剂溶剂体系的边珠清除工艺。在该边珠清除工艺之后，使用有机溶液从装置表面冲洗所有残留聚硅氨烷。然后将该聚硅氨烷-有机工艺废料流向下冲到排水管，经由传输管线到工艺废料盛装容器。在装满之后，可以密封该工艺废料盛装容器或可以将该液体转移至其它废料容器以转移用于废物处置。

当前的处置工艺要求不稳定的聚硅氨烷-有机工艺废料流收集在废料盛装容器中直到该容器充满。一旦该盛装容器充满，就将该废料转移至排气鼓以便该废料的临时稳定化。最后，密封该鼓并派送用于废物处置。

当前的处置工艺具有数个问题。不稳定的聚硅氨烷废料可能与不希望存在的杂质(即OH供体化学物质；水、醇、醛等)反应。该反应引起该聚硅氨烷分解而产生氢气、氨和硅烷气体。必须使该聚硅氨烷-有机废料稳定(亦称中和)以致如果该废料溶液和任何不希望的污染物接触，则它不会经历进一步分解。

此外，让废料鼓保持排气以允许该聚硅氨烷-有机废料到尾气，其中推荐的保持时间是十天。如果这一推荐排气时间不足以使该聚硅氨烷-有机废料＂稳定＂，则它将继续到尾气。这种进一步分解可能导致废料容器的变形(即膨胀)，这可能最终导致该容器的完全灾害性破坏。这产生严重的潜在健康和安全问题。

此外，如果使用错误的材料来中和聚硅氨烷或使用过量的溶液来使聚硅氨烷-有机废料稳定或在错误的点添加，则可能导致溶液的两相分离，或与该废料的反应可能形成固体凝胶或盐沉淀物。所有这些都将是不合需要的副反应。

因此，仍需要处理聚硅氨烷废料的更安全、更少成问题的方式。

发明内容

本发明涉及聚硅氨烷废料的处理方法，包括使该聚硅氨烷废料与处理稳定剂接触，该处理稳定剂选自含OH的化合物和含OH的化合物和碱的混合物。该处理稳定剂或处理稳定剂溶液可以如下接触该聚硅氨烷废料：(a)将该处理稳定剂注入聚硅氨烷废料的废料流；(b)将该处理稳定剂添加到含聚硅氨烷废料的容器中；或(c)将该聚硅氨烷废料添加到含处理稳定剂的容器中。

含OH的化合物的实例包括但不限于，例如，醇、醚醇、二醇和羧酸，和其混合物。醇的实例包括但不限于，甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇、仲丁醇、苯酚等。醚醇的实例包括但不限于，例如，1-丁氧基乙氧基-2-丙醇、3-甲基-3-甲氧基丁醇、乙二醇正丁醚、乙二醇苯基醚、乙二醇丙基醚、二乙二醇己基醚、二乙二醇一乙基醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇一丁醚、二乙二醇一丙基醚、丙二醇乙基醚、丙二醇异丁基醚、丙二醇一甲基醚、丙二醇一丁基醚、丙二醇一乙基醚、丙二醇正丙基醚、丙二醇苯基醚、丙二醇叔丁基醚、二丙二醇乙基醚、二丙二醇一丁基醚、二丙二醇一甲醚、二丙二醇一丙基醚、三乙二醇乙基醚、三乙二醇甲基醚、三乙二醇正丁醚、三丙二醇甲基醚、三丙二醇正丁醚和它们的混合物。二醇的实例包括，但不限于例如，乙二醇、丙二醇、己二醇、丁二醇、甘油等，和它们的混合物。羧酸的实例包括但不限于，例如，未支化饱和或不饱和一元羧酸：甲酸、乙酸、丙酸、戊酸、己酸；支化饱和或不饱和一元羧酸：2-甲基戊酸、2-乙基己酸；未支化饱和或不饱和二-或三元羧酸：丙二酸(胡萝卜酸)、丁二酸(琥珀酸)、戊二酸(glutaric acid)、己二酸(肥酸)；芳族一、二和三元羧酸：苯甲酸、2-羧基苯甲酸(邻苯二甲酸)、3-羧基苯甲酸(间苯二甲酸)、4-羧基苯甲酸(对苯二甲酸)、3，4-二羧基苯甲酸(偏苯三酸)；醇酸:羟基苯乙酸(扁桃酸)、2-羟基丙酸(乳酸)、羟基琥珀酸(马来酸)、2，3-二羟基丁二酸(酒石酸)、2-羟基-1，2，3-丙烷三羧酸(柠檬酸)、抗坏血酸、2-羟基苯甲酸(水杨酸)、3，4，5-三羟基苯甲酸(没食子酸)等和它们的混合物。碱的实例包括但不限于，氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化铵、氢氧化四甲铵、一乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氢氧化铵、二乙胺、二甲胺、三甲醇胺、丁基二甲胺、二丁基甲胺、三羟基胺、一丙胺、二丙胺、三丙胺、一丙醇胺、二丙醇胺、三丙醇胺、一异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺、正丁胺、叔丁胺、甲基丙胺、乙基二甲胺、2-氨基-1，3-丙二醇、2-氨基-2-甲基-1，3-丙二醇、乙醇丙醇仲胺、2-(丁基氨基)乙醇、2-(环己基氨基)乙醇、2-氨基-1-丁醇、2-(2′-氨基乙氧基)乙醇、双(氨乙基)胺、双(氨基丙基)胺、三(氨乙基)胺、三(氨基丙基)胺、吡啶、哌啶、吗啉、苯胺和它们的混合物。