[发明专利]等离子处理用气体供给管

权利要求书

1.一种等离子处理用气体供给管，其特征在于，

所述等离子处理用气体供给管是被插入到保持于等离子处理室内的容器内部，通过向容器内部供给等离子处理用气体，在容器内面形成蒸镀膜的等离子处理用气体供给管，

该等离子处理用气体供给管具备由金属管构成的供给管主体、由非金属管构成的供给路延长构件和连接构件，所述连接构件用于连接所述供给管主体和所述供给路延长构件，

所述供给管主体由多孔不锈钢管形成，所述供给路延长构件由氟树脂形成，所述连接构件由钛或陶瓷形成，并且所述连接构件的热膨胀率为10×10^-6/℃以下。

2.根据权利要求1所述的等离子处理用气体供给管，其中，

所述供给管主体具有气体喷出孔。

3.根据权利要求1所述的等离子处理用气体供给管，其中，

将所述等离子处理用气体供给管中的金属部分的长度定于微波的1/2波长，使所述供给管主体通过所述连接构件与所述供给路延长构件连接，由此将所述等离子处理用气体供给管延长至所述容器的底部附近。