[发明专利]图案形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及例如制造平面型图像显示装置、配线基板、IC标签等时在绝缘性基板上形成采用功能性材料的图案的图案形成方法。

背景技术

以往，作为在基材的表面形成微细的图案的技术，光刻技术一直扮演关键的角色。但是，该光刻技术虽然其析像度和效果不断提高，但需要巨大且昂贵的制造设备，制造成本也随析像度不断升高。

另一方面，不仅是半导体器件，图像显示装置等的制造领域中，也不断地要求在性能改良的同时降低成本，上述的光刻技术逐渐无法充分满足这样的要求。在这样的状况下，采用数字印刷技术的图案形成技术渐渐受到关注。

关于这一点，例如喷墨技术作为利用装置简便和非接触图案形成的特点图案形成技术而开始被实用化，但不得不承认其在高析像度化和高生产性方面存在极限。即，在该方面，电子照相技术、特别是采用液体调色剂的电子照相技术具有良好的可能性。

例如，提出有采用这样的电子照相技术来形成平板显示器用的前基板的荧光体层或黑色矩阵、滤色器等的方法(例如参照日本专利特开2004-30980号公报、日本专利特开平6-265712号公报)。

但是，在平板显示器的领域，高析像度化的要求不断提高，需要以更高的位置精度形成高析像度的图案。但是，上述的电子照相方式难以应对该课题。这是因为写入的光学系统的析像度最多1200[dpi]左右，对于析像度和对位是不够的。此外，还存在无法实现可以应对近年来的大画面化的宽幅的写入光学系统。

针对这一问题，提出有采用代替感光体在表面形成电阻不同的图案的静电印刷平板，使液体调色剂作用于该平板而将图案显影，将该图案像转印于玻璃板，从而在显示器用前玻璃上形成荧光体等的图案的方法(例如参照日本专利特表2002-527783号公报)。

但是，本申请发明人认真地进行实验研究后，也在该方法中发现如下的本质性的问题。

首先，采用液体调色剂的显影像一般其层厚大多在1[μm]以下，不适合于显示装置的荧光体和滤色器等厚膜的形成，高精细的厚膜形成还需要新的办法。

此外，将显影像转印于玻璃板时，如果使用电晕充电器，则电晕电流传导至玻璃表面而漏电，转印特性容易变得不稳定。此外，玻璃的内部容易积聚空间电荷，电晕转印中难以形成战胜该空间电荷的转印电场。另外，如果转印1种颜色的显影像，则该问题进一步加剧，很难将第2种颜色、第3种颜色的显影像转印于玻璃板。

发明的揭示

本发明的目的在于提供对于绝缘性基板可以高效地转印显影剂的图案形成方法。

为了实现上述目的，本发明的图案形成方法具备以下的工序：在像保持体上形成采用带电的显影剂的图案像的显影工序；将在与所述像保持体对向的对向面侧具有电极层的被转印介质与所述像保持体对向配置，在所述像保持体和所述电极层之间形成电场，将所述图案像转印到所述被转印介质上的转印工序；使所述电极层消失的消失工序。

根据上述发明，在被转印介质的接近像保持体的一侧设置电极层，在该电极层和像保持体之间形成电场，将形成于像保持体的图案像转印后，使电极层消失。如上所述，通过使电极层接近像保持体，可以形成较强的转印电场，能够提高图案像对被转印介质的转印效率。除此之外，由于使用于转印的电极层消失，因此还可以防止因存在电极层而产生的各种问题。

此外，本发明的图案形成方法具备以下的工序：在像保持体上形成采用带电的显影剂的图案像的显影工序；将在与所述像保持体对向的对向面侧具有电极层的被转印介质与所述像保持体对向配置，在所述像保持体和所述电极层之间形成电场，将所述图案像转印到所述被转印介质上的转印工序；加热所述电极层而使其高电阻化的高电阻化工序。

此外，本发明的图案形成方法具备以下的工序：在绝缘性基板的正面侧形成图案状的电极层的电极层形成工序；介以在绝缘性基板的正面侧对向配置的供给构件向所述绝缘性基板供给带电的显影剂，在所述供给构件和所述电极层之间形成电场，在所述电极层上聚集所述显影剂而形成图案像的显影工序；使所述电极层消失的消失工序。

另外，本发明的图案形成方法具备以下的工序：在绝缘性基板的正面侧形成图案状的电极层的电极层形成工序；介以在绝缘性基板的正面侧对向配置的供给构件向所述绝缘性基板供给带电的显影剂，在所述供给构件和所述电极层之间形成电场，在所述电极层上聚集所述显影剂而形成图案像的显影工序；加热所述电极层而使其高电阻化的高电阻化工序。

附图的简单说明

图1是表示本发明的实施方式的图案形成装置的关键部分的构成的简图。