[发明专利]流体探针

权利要求书

1.一种用于检测流体性质的微装置，所述装置包括：

主体区；

第一挠性元件和第二挠性元件，每一个挠性元件具有第一末端和第二 末端，所述第一末端固定地位于所述主体区上，并且每一个挠性元件能够 通过该元件的弯曲而从至少第一相应构造运动到第二相应构造；

其中，在远离所述主体区的位置，所述第一挠性元件联接到所述第二 挠性元件，

所述第一挠性元件包括配置用于使所述第一和第二挠性元件在所述第 一相应构造和所述第二相应构造之间运动的驱动部；

所述第二挠性元件包括用于传感所述第二挠性元件的运动的集成运动 传感器，并且

其中所述第一挠性元件的驱动部是可操作的以使所述第一和第二挠性 元件运动；

其中所述第一挠性元件的驱动部包括：

具有不同热膨胀系数的至少两层的层压材料；

加热元件，所述加热元件用于加热所述第一挠性元件以引起所述元件 的弯曲；

其中对所述运动传感器进行配置，使得所述运动传感器的电性质由于 所述第二挠性元件的运动而变化；以及

所述运动传感器包括压电元件，配置所述压电元件使得所述压电元件 的电信号在所述第二挠性元件弯曲时变化。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述挠性元件的每一个基本上相 互平行地纵向延伸。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其中每一个挠性元件通过所述第 一挠性元件在各自的弯曲面的弯曲而从所述第一相应构造运动到所述第 二相应构造，并且在基本上垂直于所述弯曲面的方向上，所述挠性元件经 由在所述第一和第二挠性元件之间延伸的联接构件联接在一起。

4.根据权利要求3所述的装置，其中所述联接构件由刚性的材料形成。

5.根据权利要求3所述的装置，其中所述联接构件被连接到所述第一 和第二挠性元件的第二末端。

6.根据权利要求5所述的装置，其中所述联接构件在远离所述第一和 第二挠性元件的面上延伸。

7.根据权利要求3所述的装置，其中将所述联接构件成型，以便当挠 性构件在所述第一和第二相应构造之间运动时，所述联接构件充当桨叶。

8.根据权利要求1所述的装置，所述装置包括至少两个所述第一挠性 元件，所述第二挠性元件位于所述两个第一挠性元件之间。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一挠性元件经由热绝缘材 料联接到所述第二挠性元件。

10.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一挠性元件在多个位置 联接到所述第二挠性元件。

11.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一和第二挠性元件纵向 延伸，所述第一挠性元件沿所述元件的全部长度联接到所述第二挠性元 件。

12.根据权利要求1所述的装置，其中所述层压材料的第一层包括聚 合物，并且所述层压材料的第二层包括金属。

13.根据权利要求1所述的装置，其中所述层压材料的第一层包括聚 合物，并且所述层压材料的第二层包括聚合物。

14.根据权利要求1、12或13中任一项所述的装置，其中所述层具有 小于100GPa的杨氏模量以及大于10^-6/K的在室温的热膨胀系数。

15.根据权利要求1所述的装置，其中所述运动传感器包括压敏电阻 元件，配置所述压敏电阻元件使得所述压敏电阻元件的电阻在所述第二挠 性元件弯曲时变化。

16.根据权利要求15所述的装置，其中所述压敏电阻元件包括镍铬合 金，铬，铜，和铬铜合金的至少一种。

17.根据权利要求15所述的装置，其中所述压敏电阻元件包括氮化铝， 锆酸钛酸铅，多晶硅，导电聚合物的至少一种。